[发明专利]用于液滴沉积的方法和设备

权利要求书

1.一种利用一设备将液滴沉积到基板上的方法，所述设备包括：

由散布的壁分隔的流体腔的阵列，每一流体腔与用于释放流体液滴的孔连通，每一所述壁分隔两个相邻的腔；其中每一所述壁是可致动的，使得它将响应于第一电压而变形以便减小一个腔的体积和增加另一腔的体积，它将响应于第二电压而变形以便在所述相邻腔的体积上产生相反的作用；

所述方法包括以下步骤：

接收输入数据；

基于所述输入数据选择成对的相邻的流体腔；

将所述选择的成对的相邻的流体腔分派为发射腔，将剩余的流体腔分派为非发射腔，其中所述成对的发射腔中的一个发射腔与所述成对的发射腔中的另一个发射腔由奇数个非发射腔间隔开；

对于已选择对的流体腔中的每一个，对所述成对的发射腔中的分离壁进行致动以便使得从所述发射腔中的每一个释放至少一个液滴；

其中所述已选择对的流体腔的所述致动在时间上交叠。

2.根据权利要求1所述的方法，其中已选择对的流体腔中的每一发射腔依赖于所述输入数据释放一串数量在1和N之间的液滴，每个这样的液滴串形成了所述基板上的对应的点。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述由已选择对的流体腔中的发射腔释放的液滴串的液滴数量的差别至多为一个，且优选地是数量相等。

4.根据权利要求3所述的方法，其中每一发射腔释放一串恰好N个液滴(其中N是大于1的整数)，每个这样的液滴串形成了所述基板上的对应的点。

5.根据权利要求2至4中的任一项所述的方法，其中所述点布置在所述基板上的第一直列上。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述输入数据对应于图像数据像素的两维阵列，所述第一列上的所述点代表了所述两维阵列中的单列图像数据像素的值。

7.根据权利要求7所述的方法，其中在由一列流体液滴对一列图像数据像素的表示中的内在的任意误差被重新分配给另一列图像数据像素。

8.根据权利要求6或7所述的方法，还包括：重复所述选择、分派和致动所述流体腔的步骤，以便在基板上产生布置成多条另外的平行的直列的点，每一列代表了所述两维阵列内的图像数据像素的对应的列的值。

9.根据任意一项前述权利要求所述的方法，其中所述已选择对的流体腔的分离壁的所述致动具有的周期为每一腔的声学周期的0.5和1.5倍之间。

10.根据任意一项前述权利要求所述的方法，其中对于每一已选择对的流体腔，用于界定所述对流体腔的两个壁在所述对流体腔的分离壁的致动期间保持不被致动。

11.根据任意一项前述权利要求所述的方法，其中未被选择的腔中的所有壁被彼此同相位地致动，以便防止释放液滴。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述已选择对的流体腔中的分离壁的所述致动与未被选择的腔的壁的致动是异相的。

13.一种液滴沉积设备，包括：

由散布的壁分隔的流体腔的阵列，每一流体腔设置有孔，每一所述壁分隔两个相邻的腔；其中每一所述壁是可致动的，使得它将响应于第一电压而变形以便减小一个腔的体积和增加另一腔的体积，它将响应于第二电压而变形以便在所述相邻腔的体积上产生相反的作用，

所述设备适用于执行根据任意一项前述的权利要求的方法。

14.根据权利要求13所述的液滴沉积设备，其中基本上所有流体腔的孔设置成一列。