[发明专利]用于借助激光束加工工件的机器

权利要求书

1.一种用于借助激光束加工工件，尤其是用于激光切割金属的机器，该机器包括工件夹持器、激光加工单元(5)、用于使所述激光加工单元和所述工件夹持器相对运动的驱动单元、机器控制装置和供气设备，其中，所述供气设备具有至少一个气源(2)、一个配属于所述激光加工单元的气体喷嘴(6)、一个将所述气体喷嘴与至少一个气源连接的管路装置(7)和至少一个布置在该管路装置中的、与气控单元(65)连接的比例调压阀(4、4`、4``)，其特征在于，所述比例调压阀(4、4`、4``)具有一个压电气动前置级(14、14`)和一个由该压电气动前置级(14、14`)促动的气动功率级(13)。

2.如权利要求1所述的机器，其特征在于，所述比例调压阀(4、4`、4``)布置在所述激光加工单元(5)上。

3.如权利要求1或2所述的机器，其特征在于，所述气体喷嘴(6)布置在所述激光加工单元(5)上。

4.如权利要求1至3之一所述的机器，其特征在于，所述压电气动前置级(14、14`)的控压出口(55)直接加载所述气动功率级(13)。

5.如权利要求4所述的机器，其特征在于，所述压电气动前置级(14)包括一个直接安装在所述气动功率级(13)的壳体(15、19、20)上的压电气动先导式比例阀(40)。

6.如权利要求5所述的机器，其特征在于，所述压电气动先导式比例阀(40)包括一个壳体(42)，该壳体(42)具有一个布置在其中的、可在进气喷嘴(44)和排气喷嘴(45)之间改变位置的压电弯曲换能器(43)。

7.如权利要求6所述的机器，其特征在于，所述压电气动先导式比例阀(40)的所述壳体(42)的内腔(41)与所述气动功率级(13)连通。

8.如权利要求6或7所述的机器，其特征在于，所述压电气动先导式比例阀(40)的壳体(42)安置在外壳(46)中，所述压电气动先导式比例阀(40)的与所述排气喷嘴(45)连接的排气孔通入所述外壳(46)的内腔(48)中，其中，所述外壳具有一个相对所述排气喷嘴为大横截面的出气孔(50)。

9.如权利要求8所述的机器，其特征在于，所述外壳(46)容纳所述气控单元的至少一部分电子部件(49)。

10.如权利要求6至9之一所述的机器，其特征在于，所述压电气动先导式比例阀(40)的进气喷嘴(44)通过在该压电气动先导式比例阀壳体(42)中的孔(52)与布置在所述气动功率级(13)的壳体(15、19、20)中的控制气孔(53)连接。

11.如权利要求10所述的机器，其特征在于，所述控制气孔(53)通过一个预压调节器与所述供气设备的气源(2)连接。

12.如权利要求10所述的机器，其特征在于，所述控制气孔(53)连接在一个与所述供气设备不同的控制气源(8)上。

13.如权利要求12所述的机器，其特征在于，所述控制气孔通过一个预压调节器(67)与所述控制气源(8)连接。

14.如权利要求1至13之一所述的机器，其特征在于，所述气动功率级(13)具有一个入口(E)、一个出口(A)和一个在控制活塞气缸(16)中可轴向移动地导引的控制活塞(18)，该控制活塞(18)具有至少一个与固定在壳体上的相应的第二控制棱边(35)共同作用的第一控制棱边(34)，其中，所述第一和第二控制棱边限定出一个布置在所述入口和所述出口之间的流动路径中的可变的控制缝隙。

15.如权利要求14所述的机器，其特征在于，所述第二控制棱边(35)布置在通向所述控制活塞气缸(16)的出口(A)的孔的区域内。

16.如权利要求15所述的机器，其特征在于，通向所述控制活塞气缸(16)的入口(E)的孔横截面面积大于通向该控制活塞气缸的出口(A)的孔横截面面积。