[发明专利]用于接合曝露于等离子体的陶瓷部件的抗腐蚀接合试剂及接合方法

权利要求书

1.一种适用于将陶瓷部件的多个部分接合在一起的抗腐蚀接合剂，包含：形成接合剂的氧化物以及氟化物，其中，在该接合剂与该陶瓷部件的至少两个所述部分接触而烧结后，至少一个过渡区域形成于该接合剂以及接触该接合剂的该陶瓷部件的该部分之间。

2.如权利要求1所述的抗腐蚀接合剂，其中该氟化物选自以下构成的群组的金属氟化物：YF₃、NdF₃、AlF₃、ZrF₄、SmF₃、CeF₃、DyF₃、GdF₃、InF₃、LaF₃、ThF₄、TmF₃、YbF₃、BaF₂、CaF₂以及其组合物。

3.如权利要求1或2所述的抗腐蚀接合剂，其中该氧化物选自以下构成的群组：Al₂O₃、Y₂O、MgO、ZrO₂、Nd₂O₃、CeO₂、Sm₂O₃、Er₂O₃、Sc₂O₃、La₂O₃、HfO₂、Nb₂O₅、SiO₂以及Na₂CO₃。

4.如权利要求1所述的抗腐蚀接合剂，其中存在至少一种添加剂，该添加剂选自以下构成的群组：Nd₂O₃、NdF₃、CeO₂、CeF₃、Sm₂O₃、SmF₃、Er₂O₃、ErF₃、AlF₃、Sc₂O₃、ScF₃、La₂O₃、LaF₃、HfO₂、HfF₄、Nb₂O₅、NbF₅、ZrO₂、ZrF₄、MgO、SiO₂、Na₂CO₃以及其组合物。

5.如权利要求3所述的抗腐蚀接合剂，其中除了该氧化物及该氟化物或该金属氟化物之外，还存在至少一种添加剂，该添加剂选自以下构成的群组：Nd₂O₃、CeO₂、Sm₂O₃、Er₂O₃、ErF₃、Sc₂O₃、ScF₃、La₂O₃、LaF₃、HfO₂、HfF₄、Nb₂O₅、NbF₅、ZrO₂、MgO、SiO₂、Na₂CO₃以及其组合物。

6.如权利要求1或2所述的抗腐蚀接合剂，其中陶瓷部件的所述部分与该接合剂共烧制形成的接合层是玻璃陶瓷。

7.如权利要求6所述的抗腐蚀接合剂，其中该玻璃陶瓷的体积百分比范围从约0.1％至约50％。

8.如权利要求1或2所述的抗腐蚀接合剂，其中该接合剂是在悬浮介质中的金属氧化物与金属氟化物的浆料，其中该金属氧化物与金属氟化物的体积百分比范围从约10％至约50％。