[发明专利]晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法

权利要求书

1.一种晶片透镜制造装置，其特征在于，备有：

台，支撑玻璃基板；

XY轴移动机构，使所述台在XY平面移动；

XY空气滑行导向机构，通过空气使所述台相对XY导向浮上，导向由所述XY轴移动机构所作的所述台的移动；

模具，被充填树脂；

Z轴移动机构，使所述模具升降移动；

Z空气滑行导向机构，通过空气使所述模具相对Z导向浮上，导向由所述Z轴移动机构所作的所述模具的升降移动；

控制装置，至少进行下述一个锁定：由所述XY空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述台的移动位置的锁定；或者，由所述Z空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述模具的移动位置的锁定。

2.如权利要求1中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，所述控制装置进行所述XY空气滑行导向机构的运转及其停止控制、以及所述Z空气滑行导向机构的运转及其停止控制，进行所述台的移动位置以及所述模具的移动位置的双方的锁定。

3.如权利要求2中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，

所述Z轴移动机构备有：支撑所述模具的延伸在Z轴方向的模具台；在Z轴方向导向所述模具台的筒状导向部件；

所述Z空气滑行导向机构具有从不同方向向Z导向喷出空气的多个喷出孔，

所述控制装置在使所述XY空气滑行导向机构的运转停止的状态下，再使所述Z空气滑行导向机构的所述喷出孔的运转的一部分停止，使所述模具台接触所述导向部件，在该状态下，控制所述Z轴移动机构，使所述模具向着由所述台支撑的玻璃基板上升。

4.如权利要求3中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，

备有检测所述模具配置位置的位置检测器，

所述控制装置中，预先将所述模具的初期位置设定作为轴坐标，所述控制装置在锁定所述XY空气滑行导向机构和所述Z空气滑行导向机构的状态下，根据所述位置检测器的检测结果，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。

5.如权利要求3中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，

备有检测所述模具配置位置的位置检测器，

所述控制装置中，预先将所述模具的初期位置设定作为轴坐标，所述控制装置在锁定所述XY空气滑行导向机构的状态下，再一部分锁定所述Z空气滑行导向机构，使所述模具台接触所述导向部件，在该状态下，根据所述位置检测器的检测结果，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。

6.一种晶片透镜的制造方法，其特征在于，

备有下述工序：通过第1空气供给，使玻璃基板边浮上边沿XY导向在XY平面移动，将所述玻璃基板配置到对着所述模具的位置上；通过第2空气供给，使所述模具边浮上边沿Z导向升降移动，配置到所定的高度位置上；使所述模具向着所述玻璃基板上升；

使所述模具上升的工序，是在停止所述第1空气和所述第2空气供给的状态下，使所述模具向着所述玻璃基板上升的。

7.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，

使所述模具上升的工序，是在停止所述第1空气供给的状态下，再一部分停止所述第2空气供给，使支撑所述模具的Z台接触所述Z导向，在该状态下，使所述模具向着所述玻璃基板上升的。

8.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，备有下述工序：

将所述模具的初期位置设定作为轴坐标；

在停止所述第1空气和所述第2空气供给的状态下，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。

9.如权利要求7中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，备有下述工序：

将所述模具的初期位置设定作为轴坐标；

在停止所述第1空气供给的状态下，再一部分停止所述第2空气供给，使支撑所述模具的Z台接触所述Z导向，在该状态下，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。