[发明专利]无尘室中逆转溅镀涂覆系统进料的方法及装置有效

专利信息
申请号: 200980145737.X 申请日: 2009-11-26
公开(公告)号: CN102232043A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 罗兰·弗朗茨 申请(专利权)人: 格林策巴赫机械制造有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06;C03B35/20;C23C14/56;H01L21/677
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 宋合成
地址: 德国阿斯巴*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 无尘室中 逆转 溅镀涂覆 系统 进料 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种逆转溅镀涂覆系统进料的装置,以用于重复地在无尘室中供应具有不同、或相同成分的溅镀材料,该装置包括下列特征:

a)运输框架(11),用以接收一基板晶圆(19);

b)旋转单元,具有旋转所述运输框架(11)的装置,以及具有将所述运输框架(11)运输至不同导轨(25、27)上的装置;

c)用以精准地使所述旋转单元对准所述溅镀涂覆系统的装置;

d)侦测单元(18),用以检查一溅镀程序;

e)用以设置矩形运输框架(11)的装置,所述矩形运输框架(11)由在左边以及右边的上部区域中的后端固定圆柱(13)以及前端固定圆柱(14)、以及在左边以及右边的下部区域中二运输滚筒(7)上的拖架所组成,其中,每一个滚筒(7)皆具备专属伺服马达,以及机械移动部件以无发射方式包裹,且由抗磨损材质制成。

2.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,

用于旋转所述运输框架(11)的装置由伺服马达(17)组成,连结侦测转动角度的传感器(16)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,

用于运输所述运输框架(11)的装置由下部区域中配备有规则间隔运输滚筒(7)的导轨(25,27)组成,其中,在上部区域中以规则间隔安装的固定圆柱(13,14)利用所述运输滚筒(7)提供引导。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,

用于精准地将所述旋转单元对准分别的所述导轨的装置是以多个传感器(23,24)所决定的测量数值作为基础而受控于所述旋转单元的驱动(17)的一精准调整,其中,所述传感器(23,24)额外地侦测所述导轨(25)路径的热变形。

5.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,

所述基板晶圆(19)的定位额外地利用激光及/或相对应的传感器的方式进行监测。

6.一种逆转溅镀涂覆系统进料的方法,以用于重复地在无尘室中供应具有不同、或相同成分的溅镀材料,所述方法包括下列特征:

a)待涂覆基板晶圆(19)利用一运输装置运送进入运输框架(11),以及接着进入旋转单元;

b)矩形运输框架(11)通过位在上部区域中左边以及右边的二个固定圆柱(13,14),以及在下部区域中左边以及右边的运输滚筒(7)上的拖架而设置于所述旋转单元中;

c)所述运输框架(11)透过合并于所述旋转单元的所述框架中的驱动(17)的方式而进行旋转;

d)所述运输框架(11)透过可在不同方向的多个导轨上引导的运输滚筒驱动(9)的方式而进行运输;

e)经由所述旋转单元的所述驱动(17),所述旋转单元透过所述传感器(23,24)的方式而精准地对准所述导轨(25,27);以及

f)溅镀程序,利用侦测单元(18)的方式进行检查,其中,此至少存在于运输框架(11)的每一个储藏所的所述旋转单元中,以及间隔组件可以扫瞄器的方式操作、或可以利用光技术检查基板晶圆(19)的整体面积。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,

所述基板晶圆(19)的定位额外地利用激光及/或相对应的传感器的方式进行监测。

8.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,

为了获得无尘室条件,机械移动部件以无发射方式包裹以及由抗磨损材料制成。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法,其特征在于,

所述旋转单元,作为较大系统的部分,举例而言,在光伏模块的涂覆中,额外地作为众多另外处理顺序的连结站。

10.一种计算机程序,包括若其于计算机中执行时,实现权利要求6至9中任一项所述的方法步骤的程序代码。

11.一种机器可读取载体,包括计算机程序的程序代码,以在所述程序若于计算机中执行时,实现权利要求6至9中任一项所述方法。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于格林策巴赫机械制造有限公司,未经格林策巴赫机械制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980145737.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top