[发明专利]非接触式运送装置

说明书

技术领域

本发明涉及非接触式运送装置，特别涉及使用于大型的FPD面板、太阳能电池面板等的浮起(上浮)运送的装置。 

背景技术

以往，在FPD面板、太阳能电池面板的生产时，采用通过将一块面板大型化而提高生产效率的方法。例如，在液晶玻璃的情况下，第10代为2850×3050×0.7mm的大小。因此，如果像往常那样将液晶面板乘放在多个并列的辊子上滚动运送，则由于轴的挠曲、辊子高度的偏差，在玻璃的局部作用较强的力，会损伤玻璃。进而，在工艺工序中，谋求不接触，所以开始采用空气浮起运送。 

作为空气浮起运送装置的一例，在使液晶用的玻璃浮起时，与玻璃的大小一致地将多个板状的轨道(rail)连接而构成运送装置，所述轨道上设置多个直径小的孔，从这些直径小的孔喷出空气。另外，也存在使用多孔碳作为轨道材料、从其气孔喷出空气的方法。 

但是，在上述方法中，作为每1000×1000mm的面积的空气流量，在多孔类型中需要250L/min，在多孔碳类型中需要150L/min，要求极多的空气流量。另外，以往的非接触式运送装置利用真空吸附与空气的喷出力的平衡原理确保浮起高度的精度，但此时，为了真空吸附需要一直使泵运转，所以也存在消耗大量的能量的问题。 

因此，在日本特愿2008-75068号中，本申请人提出一种非接触式运送装置，为了既将浮起高度精度维持得高又降低空气流量以及能量消耗量，利用旋流(旋回流)。该非接触式运送装置如图10所示，具备旋流形成体 64，所述旋流形成体64具有：从表面贯通到背面的横截面圆形的贯通孔61，向贯通孔61内喷出空气而产生旋流的流体喷出口62，和向流体喷出口62供给空气的圆环状的供气槽63。而且，在设有向供气槽63供给空气的空气供给路65的基体(运送轨道)66的表面，配置上述的旋流形成体64而构成运送装置。 

根据上述非接触式运送装置，通过在旋流形成体64的表面侧产生朝向上方的上升旋流而使被运送物(玻璃)67浮起，由此，能够以以往的1/2左右的空气流量进行运送。另一方面，在贯通孔61的开口部附近通过负压产生向下方的空气流，发挥与用于确保浮起高度精度的真空吸附同等的效果。由此，不需要真空吸附用的泵，能量消耗量降低。 

发明内容

在使用上述非接触式运送装置运送FPD面板、太阳能电池面板等大型面板的情况下，如图11所示，将在表面上设有多个旋流形成体64的多个运送轨道66并列配置而构成运送线(运送航道)，一边使被运送物67浮起一边使其移动。 

但是，在上述运送线中，在延长被运送物67的运送距离的情况下，将运送轨道66在被运送物67的运送方向上接长而获取距离，但此时如图12所示，在运送轨道66的接头(接缝)产生台阶差71，若运送轨道66之间的间隙72大，则被运送物67不能越过运送轨道66的接头，在途中卡挂而产生运送不良，会使被运送物67损伤。 

因此，在运送轨道66的设置时，要求将在轨道之间的接头产生的台阶差71以及间隙72的各自设置在允许值内(例如，在为1000×1000×0.7(厚度)mm的玻璃并且浮起量为300μm的情况下，将台阶差71设在100μm以内，将间隙72设为30mm以内)。但是，在该情况下，需要高精度加工运送轨道66，所以会使得运送装置的制造成本增大，另外，根据设置场所的条件，有时与运送轨道66的加工精度无关地不能将接头的台阶差等设在允许值内。 

作为解决上述的问题的方法之一，可以考虑增大来自旋流形成体64的上升旋流，增大被运送物67整体的浮起量，但在该情况下，需要增加向旋流形成体64的空气供给量，所以存在导致运行成本的飞涨的问题。 

另外，作为其他的方法，如图13所示，具有下述方案：在并列配置的运送轨道66a～66c之间将接头的位置错开，在被运送物67位于两边的运送轨道66a、66c的接头时，通过中央的运送轨道66b使被运送物67的端部浮起。但由于设置场所、大型装置的分割设计的制约，有时不能这样配置运送轨道66，并不能说是万全的方案。 

因此，本发明是鉴于上述的问题而做出的，其目的在于提供一种非接触式运送装置，既能够避免制造成本、运行成本增大或者在装置的设置场所受限制、又能够防止被运送物卡挂在运送轨道的接头而产生运送不良或损伤被运送物。