[发明专利]含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法

权利要求书

1.含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，在含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加亚铁离子，将生成的不溶性的铁·唑系络合物分离。

2.权利要求1的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，将上述不溶性的铁·唑系络合物分离后，对残留的TOC成分进行臭氧分解。

3.权利要求1或2的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，含有唑系铜用防腐蚀剂的水是由半导体设备制造工艺中的化学机械抛光工序排出的水。

4.权利要求1～3中任一项的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，唑系铜用防腐蚀剂含有唑化合物，该唑化合物为选自咪唑、吡唑、                                                唑、异唑、噻唑、异噻唑、硒唑、1,2,3-三唑、1,2,4-三唑、1,2,5-二唑、1,3,4-二唑、1,2,3-噻二唑、1,2,4-噻二唑、1,3,4-噻二唑、四唑、1,2,3,4-噻三唑、它们的衍生物、它们的胺盐和它们的金属盐中的至少一种。

5.权利要求4的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，上述含有唑系铜用防腐蚀剂的水含有5～30000mg/L的唑化合物。

6.权利要求1～5中任一项的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，通过添加包含硫酸亚铁和氯化亚铁中的至少一者的亚铁盐，而在含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加上述亚铁离子。

7.权利要求6的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，相对于含有唑系铜用防腐蚀剂的水中的唑系铜用防腐蚀剂，以摩尔比计，添加0.5～5.0倍的亚铁盐。

8.权利要求1～7中任一项的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，在pH4～8的含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加亚铁离子，以使铁·唑系络合物析出。

9.权利要求8的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，在铁·唑系络合物析出后，将该水的pH调节至7～12，以使铁·唑系络合物与氢氧化铁絮凝物凝聚。

10.权利要求9的含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法，其特征在于，此后，在该水中添加高分子凝聚剂。