[发明专利]沉积材料供应装置及包含所述沉积材料供应装置的基板处理装置

权利要求书

1.一种沉积材料供应装置，其特征在于，包含：

槽，其中储存空间与汽化空间互相连通，所述储存空间填充有原材料，所述原材料于所述汽化空间中汽化；

运送单元，用以连续地或周期性地运送填充于所述储存空间中的所述原材料至所述汽化空间；以及

加热单元，设置于所述槽的所述汽化空间的外侧，用以供应使所述原材料汽化的热量。

2.根据权利要求1所述的沉积材料供应装置，其特征在于，更包含冷却单元，所述冷却单元设置于所述槽的所述储存空间的外侧，以防止储存于所述储存空间中的所述原材料出现热劣化。

3.根据权利要求2所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述冷却单元包含冷却套(cooling jacket)，所述冷却套包含冷却信道，所述冷却信道环绕所述槽的外表面，且冷却剂流动于所述冷却通道中。

4.根据权利要求1或2所述的沉积材料供应装置，其特征在于，其特征在于，更包含：

连接管，所述连接管的第一侧连接所述槽的所述汽化空间，以形成通道，所述汽化原材料流动于所述通道中；以及

喷射器，连接至所述连接管的第二侧，用以喷射所述汽化原材料。

5.根据权利要求4所述的沉积材料供应装置，其特征在于，更包含支撑部件，整体地支撑所述槽、所述运送单元及所述喷射器，

其中所述支撑部件安装于轨道上并可沿所述轨道移动，所述轨道延伸于所述喷射器的定向方向。

6.根据权利要求4所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述连接管的所述第一侧与耦合构件相连接，而所述耦合构件螺纹耦合至所述槽。

7.根据权利要求4所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述连接管具有直径约20毫米至约200毫米间。

8.根据权利要求4所述的沉积材料供应装置，其特征在于，更包含喷射量测量传感器，用以测量自所述喷射器射入所述原材料的喷射量，

其中所述沉积材料供应装置根据所述喷射量测量传感器所测量的所述原材料的所述喷射量，控制所述运送单元的运作，以便调整所述原材料的所述喷射量。

9.根据权利要求1或2所述的沉积材料供应装置，其特征在于，金属片装设于所述槽的所述汽化空间的内壁上。

10.根据权利要求1或2所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述运送单元包含：

头部，设置于所述槽中，用以推动所述原材料；

杆，具有第一侧连接至所述头部，第二侧则设置于所述槽的外侧，所述杆与所述头部整体地移动；以及

驱动部件，连接至所述杆的所述第二侧，用以移动所述杆。

11.根据权利要求10所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述驱动部件包含马达与液压缸其中之一。

12.根据权利要求1或2所述的沉积材料供应装置，其特征在于，所述加热单元包含核心加热器(core heater)与灯加热器其中之一。

13.一种基板处理装置，其特征在于，包含：

腔室，具有反应空间；

有机材料供应部件，设置于所述反应空间中，用以供应欲汽化的原材料；以及

基板支架(substrate holder)，用以支撑基板，

其中所述有机材料供应部件包含：

槽，其中储存空间与汽化空间互相连通，所述储存空间填充有所述原材料，所述原材料于所述汽化空间中汽化；

运送单元，用以连续地或周期性地运送填充于所述储存空间中的所述原材料至所述汽化空间；

加热单元，设置于所述槽的所述汽化空间的外侧，用以供应使所述原材料汽化的热量至所述汽化空间；

连接管，所述连接管的第一侧连接至所述槽的所述汽化空间，以形成通道，所述汽化原材料流动于所述通道中；以及

喷射器，连接至所述连接管的第二侧且面对所述基板支架，所述喷射器用以喷射所述汽化原材料至所述基板。

14.根据权利要求13所述的基板处理装置，其特征在于，更包含冷却单元，所述冷却单元设置于所述槽的所述储存空间的外侧，以防止储存于所述储存空间中的所述原材料出现热劣化。

15.根据权利要求13或14所述的基板处理装置，其特征在于，所述腔室被划分成多个反应空间；

所述有机材料供应部件以多个形式涉及，以分别设置于所述腔室的所述等反应空间中；以及

所述基板支架被运送至面朝所述等有机材料供应部件。