[发明专利]外延反应器的反应室

权利要求书

1.一种基本上由中空的石英部件构成的外延反应器的反应室，其中所述中空的石英部件包括具有圆柱体或棱柱体或圆锥体或棱锥体形状的石英部件部分(1；11)和设置在所述石英部件部分(1；11)中的轴向通孔(2；12)，其中所述石英部件部分(1；11)适合于根据三个方向中的两个界定反应和沉积区(3；13)，并且适合于容纳将在所述轴向通孔(2；12)内部被加热的至少一个基座(4；14)，所述室的特征在于，所述室包括适合于将由所述基座(4；14)发出的在1,000nm和10,000nm之间，优选在1,500nm和3,000nm之间的波长范围内的红外辐射反射回去的反射层(5；15)，其中所述反射层(5；15)由基于石英的材料制成，并且其中所述反射层(5；15)被应用于所述石英部件部分(1；11)和/或被应用于所述反应室的石英组件。

2.根据权利要求1所述的反应室，其中所述反射层(5；15)位于所述石英部件部分(1；11)的内部和/或位于所述石英部件部分(1；11)的外部。

3.根据权利要求1或2所述的反应室，其中所述反射层(5；15)部分地或完全地覆盖所述石英部件部分(1；11)。

4.根据权利要求1或2或3所述的反应室，其中所述反射层被玻璃化石英层部分地或完全地覆盖。

5.根据前述权利要求1到4中任一项所述的反应室，其特征在于，所述石英部件部分(1)设置有适合于将由所述基座(4)发出的红外辐射反射回去的另一反射层(6)，其中所述另一反射层(6)由基于金的材料制成。

6.根据权利要求5所述的反应室，其中所述反射层(5、6)覆盖不同区域中的所述石英部件部分(1)。

7.根据前述权利要求1到6中任一项所述的反应室，其中所述石英部件部分(1；11)由透明石英制成。

8.根据前述权利要求1到7中任一项所述的反应室，其特征在于，所述反应室包括位于所述中空的石英部件的末端的凸缘(7；17)，其中所述凸缘(7；17)由不透明石英制成。

9.根据前述权利要求1到8中任一项所述的反应室，其特征在于，适合于借助于至少一种气流或液流来冷却。

10.一种外延反应器，其特征在于，所述外延反应器包括根据前述权利要求1到9中任一项所述的反应室。