[发明专利]p型SiC半导体有效
申请号: | 200980146754.5 | 申请日: | 2009-11-19 |
公开(公告)号: | CN102224592A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 斋藤广明;关章宪;木本恒畅 | 申请(专利权)人: | 丰田自动车株式会社 |
主分类号: | H01L29/24 | 分类号: | H01L29/24;H01L21/265 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 杨晓光;于静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | sic 半导体 | ||
1.一种p型SiC半导体,其包括含有作为杂质的Al和Ti的SiC晶体,其中Ti的原子数目浓度等于或小于Al的原子数目浓度。
2.根据权利要求1的p型SiC半导体,其中Al的浓度和Ti的浓度满足以下关系:
Al的浓度≥5×1018/cm3;以及
0.01%≤(Ti的浓度)/(Al的浓度)≤20%。
3.根据权利要求2的p型SiC半导体,其中Al的浓度和Ti的浓度满足以下关系:
5×1018/cm3≤Al的浓度≤1×1020/cm3;以及
0.01%≤(Ti的浓度)/(Al的浓度)≤20%。
4.根据权利要求1的p型SiC半导体,其中Al的浓度和Ti的浓度满足以下关系:
Al的浓度≥5×1018/cm3;以及
1×1017/cm3≤Ti的浓度≤1×1018/cm3。
5.根据权利要求4的p型SiC半导体,其中Al的浓度和Ti的浓度满足以下关系:
5×1018/cm3≤Al的浓度≤1×1020/cm3;以及
1×1017/cm3≤Ti的浓度≤1×1018/cm3。
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