[发明专利]用于涂覆设备的清洁方法

说明书

技术领域

本发明涉及与涂覆设备(Beschichtungsanlage)相关的、尤其地与真空涂覆设备相关的清洁方法。在涂覆时，通常不可避免地在涂覆腔(Beschichtungskammer)中涂覆这样的表面，该表面的涂覆是不期望的。这样的面例如可为腔的一部分以及待涂覆的基层(Substrate)的一部分以及保持面以及其它的附面通常，在一次或多次涂覆后必须费力地清洁这些面。当在不期望被涂覆的部分中在涂覆时影响其表面特性(例如导电能力)时，那么这是尤其必要的。利用根据本发明的方法明显地简化这种清洁。在本发明的范围中，将不期望被涂覆的面称为附面，而期望被涂覆的面称为目标面。

背景技术

根据现有技术已知的是，借助于不同的方法(例如喷砂、磨削(Schleife)、刷除(Bürsten)或甚至机械的再加工或化学的去涂层过程(Entschichtungsprozess))去除这种不期望的覆层。所有这些方法为在行业中流行地、广泛地应用的实践。由于该不期望的覆层常常强烈地附着在附面处，因此去除覆层几乎一向为非常浪费时间的。另一方面。在一些情况中，在每个涂覆过程(批量生产(Charge))之后必须清洁附面。需要一些清洁方法，例如湿式化学的(nasschemisch)去涂层或喷砂。

此外，所有研磨的(abrasiv)清洁方法(喷砂、磨削等等)意味着对于已处理的部件的附加的强烈的材料磨损。这附加地导致高的维护费用(Unterhaltskosten)(更换磨损的部件)。

此外，材料磨损导致过程可靠性(Prozesssicherheit)的降低，因为在此可能不再保证对于涂覆过程非常重要的机械公差。

发明内容

因此，期望提供这样的方法，即，该方法至少部分地克服现有技术的缺点。具体地，期望提供这样的用于附面的简化的清洁方法，即，附加地可以明显较小的时间消耗执行该方法，并且该方法不导致待清洁的部件的材料磨损。

本发明的基本想法为，尚在涂覆过程之前如此使附面经受预处理，即，与在没有预处理的情况下的附着相比，在接着的涂覆过程中涂覆材料在附面上的附着明显降低。以这种方式明显地简化清洁。

例如，这种根据本发明的预处理可在于，将合适的“抗附着层”施加到附面上。该抗附着层由在附面上的很小的附着而出众。由于在实际的(eigentlich)涂覆之后“抗附着层”位于附面和在涂覆过程中被施覆(auftragen)的材料之间，因此有效地防止了涂覆材料的附着。根据涂覆过程的类型，抗附着层应为耐热的、导电的且在真空技术方面安全的(unbedenklich)。尤其地，在真空技术方面的安全性形成针对PVD过程的前提。优选地，抗附着层的施加不应对在目标面上的实际的层的特性具有负面影响。

附图说明

现根据实施例且借助于附图详细地解释本发明。

图1绘出了根据本发明的预处理的过程，

图2绘出了用于使用遮盖模板(Maskierungsschablone)的实施例，

图3绘出了在涂覆过程之后的更容易的清洁过程，

图4绘出了穿过设有抗附着层和覆层的表面的截面。

具体实施方式

以下的描述限制于PVD过程，由此其中，不应将本发明的范围限制于这种过程。

对于这种PVD过程重要的是，抗附着层为适合真空的(vakuumtauglich)。但是这意味着，在抗附着层中不出现粘合剂或相似的辅助材料。

发明人已意识到，这可在以下情况下实现，即，在将抗附着层施加到附面上时应用由以合适的混合比在轻微挥发性的(leicht flüchtig)溶剂中的粉末制成的悬浮液。轻微挥发性的溶剂不可与所使用的粉末或被处理的表面发生化学合成。通过使用挥发性的溶剂作为悬浮液的载体保证了，溶剂直接在喷涂过程(Sprühprozess)之后已经完全挥发，并且仅仅很少的附着的粉末层保留在表面上。例如，异丙醇非常好地适合作为溶剂。

此外，发明人已意识到，纯的石墨适合作为粉末材料。尤其地在真空中，石墨粉末是充分耐热的、导电的、适合真空的并且满足抗附着特性，并且因此可应用在PVD过程中。