[发明专利]气体供给方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体供给方法，具体涉及一种将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处的气体供给方法。

背景技术

在半导体、化学制品的制造工序中，会使用各种各样的气体，这些气体例如从填充了高压气体的气体容器经管道进行供给。在需要连续地供给气体的情况下，将多个气体容器并联地连接，一个气体容器内的剩余压力降低到预先设定的下限值时，将气体的供给切换到另一气体容器，并将压力降低的气体容器更换为新的气体容器以处于待机状态(例如，参照专利文献1)。另外，分别对多个气体容器内的气体的剩余量进行检测，并选择气体剩余量少的气体容器进行气体的供给(例如，参照专利文献2。)。

专利文献1：日本特许第2501913号公报

专利文献2：日本特开2007-107713号公报

在从填充了高压的压缩气体的气体容器向使用处供给气体的情况下，能够从气体容器向使用处供给的气体流量因气体供给设备的压力损失、气体的种类或使用处使用的气体的压力的不同而存在差异，为了以稳定的流量供给气体，气体供给设备中的气体容器侧的压力和使用处的压力之间需要有对应于气体流量的压力差。此外，一般情况下，供给至使用处的气体流量的设定值以该使用处所使用的气体流量的最大值作为基准进行设定。

例如，为了供给使用处所使用的最大气体流量，需要的压力差为0.7MPa(表压，以下相同)左右的情况下，气体容器的剩余压力的下限为1MPa左右，在上述专利文献1、2中的任一种情况下，当剩余压力变为1MPa时，则进行容器更换。此情况下，在气体容器内，压力1MPa的气体也残留有容器容积那样的量，在大型的气体容器的情况下，大量的气体成为未使用的状态。

发明内容

因此本发明的目的是提供一种气体供给方法，由于当气体使用处所使用的气体的流量变动时，气体的供给中需要的压力差也会变动，所以在将气体供给至气体使用流量变动的气体使用处的情况下，该气体供给方法通过根据气体的流量变动而准备多个气体供给系统等，从而能够恰当地与气体的流量变动相对应，由此能够降低容器更换时的剩余压力，能够对气体容器内的气体进行有效地利用。

为了达到上述目的，本发明的气体供给方法的第一个技术方案是一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，该气体供给方法的特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)和供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低到第一设定压力(P1)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；切换后在从第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，将向使用处的气体供给由从第二气体容器(SB)进行供给切换至从第一气体容器(SA)进行供给，该剩余压力(PA)范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给，并进行第一气体容器(SA)的容器更换；在第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)的情况下，从剩余压力(PB)为第一设定压力(P1)以上的第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低到第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。