[发明专利]钨电极材料和热电子发射电流测定装置

权利要求书

1.一种钨电极材料，其特征在于，具有钨基材和分散于所述钨基材中的氧化物颗粒，

所述氧化物颗粒是由Zr氧化物和/或Hf氧化物、与选自Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu之中的至少一种以上稀土类元素的氧化物固溶得到的氧化物固溶体。

2.如权利要求1所述的钨电极材料，其特征在于，所述氧化物固溶体的含量为0.5质量％～5质量％，余量实质上为钨。

3.如权利要求1～2所述的钨电极材料，其特征在于，所述稀土类元素的氧化物相对于所述Zr氧化物和/或Hf氧化物与所述稀土类元素的氧化物的总量的比例为65摩尔％以下，不包括0。

4.一种钨电极材料的制造方法，其为制造权利要求1～3所述的钨电极材料的方法，其特征在于，具备下述工序：

将Zr盐和/或Hf盐与选自Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu之中的至少一种以上稀土类元素的盐溶解在水中而得到溶液，从该溶液中，制作氢氧化沉淀物的工序；

将所述氢氧化沉淀物干燥，制作氢氧化物粉末的工序；

在500℃以上且低于所述氧化物固溶体的熔点的温度，对所述氢氧化物粉末进行热处理，制作氧化物固溶体的粉末的工序；

将所述氧化物固溶体的粉末混合在钨粉末中，制作混合粉末的工序；

将所述混合粉末压制，制作压粉体的工序；

将所述压粉体在非氧化气氛中烧结，制作烧结体的工序；和

对所述烧结体进行塑性加工，制作钨棒材的工序。

5.一种钨电极材料的制造方法，其为制造权利要求1～3所述的钨电极材料的方法，其特征在于，具备下述工序：

将所述Zr盐和/或Hf盐与选自所述Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu之中的至少一种以上稀土类元素的盐溶解在水中而得到溶液，从该溶液中，制作氢氧化沉淀物的工序；

将所述氢氧化沉淀物干燥，制作氢氧化物粉末的工序；

将所述氢氧化物的粉末混合在钨氧化物中，制作混合物的工序；

在氢气气氛中于500℃以上且低于所述氧化物固溶体的熔点的温度，对所述混合物进行热处理，制作在钨粉末中形成有氧化物固溶体粉末的混合粉末的工序；

将所述混合粉末压制，制作压粉体的工序；

将所述压粉体在非氧化气氛中烧结，制作烧结体的工序；和

对所述烧结体进行塑性加工，制作钨棒材的工序。

6.一种钨电极材料的制造方法，其为制造权利要求1～3所述的钨电极材料的方法，其特征在于，具备下述工序：

将所述Zr盐和/或Hf盐与选自所述Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu之中的至少一种以上稀土类元素的盐溶解在水中，制作溶液的工序；

将所述混合溶液混合在钨氧化物粉末中的工序；

将所述混合物干燥，制作干燥粉末的工序；

在氢气气氛中于500℃以上且低于所述氧化物固溶体的熔点的温度，对所述干燥粉末进行热处理，制作在钨粉末中形成有氧化物固溶体的粉末的混合粉末的工序；

将所述混合粉末压制，制作压粉体的工序；

将所述压粉体在非氧化气氛中烧结，制作烧结体的工序；和

对所述烧结体进行塑性加工，制作钨棒材的工序。

7.如权利要求1～3所述的钨电极材料，其特征在于，在所述钨电极材料的轴向的截面上，所述氧化物固溶体中截面的长轴方向与所述轴向形成的角度为20°以内的氧化物固溶体的截面积为所述氧化物固溶体的总截面积的50％以上。

8.如权利要求1～3所述的钨电极材料，其特征在于，在所述钨电极材料的轴向的截面上，所述氧化物固溶体中截面的纵横比为6以上的氧化物固溶体的面积比例为所述氧化物固溶体的总截面积的4％以上。

9.如权利要求1～3所述的钨电极材料，其特征在于，在所述钨电极材料的轴向的截面上，所述氧化物固溶体中，将截面换算成圆形后的粒径为5μm以下的氧化物固溶体的合计面积小于所述氧化物固溶体全体的面积的50％。