[发明专利]投射曝光设备中的光学元件的重力补偿

权利要求书

1.一种重力补偿器，用于在微光刻投射曝光设备中安装光学元件并补偿作用在方向z上并被施加到力作用点的力F，包括：

-补偿元件的衔铁，所述衔铁在所述力F的方向z上可移动，并包括所述力作用点，所述补偿元件在所述力F的方向z上具有第一力-距离特征曲线，所述补偿元件具有第一支承刚度S1，所述第一支承刚度S1由包括所述力F的第一力区间ΔF1的最大和最小力之间的差ΔFF1与围绕第一点z0的第一距离区间Δz1的绝对值之间的商给出，其中，所述第一距离区间Δz1被所述第一力-距离特征曲线分配给所述第一力区间ΔF1，所述力F被所述第一力-距离特征曲线分配给所述第一点z0，

-引导装置，所述引导装置在所述力F的方向上具有第二力-距离特征曲线，用于引导所述补偿元件的所述衔铁，并具有第二支承刚度S2，所述第二支承刚度S2由第二力区间ΔF2的最大和最小力之间的差ΔFF2与所述第一距离区间Δz1的绝对值的商给出，其中，所述第二力区间ΔF2由围绕所述第一点z0的第一距离区间Δz1通过所述第二力-距离特征曲线分配，

-其中，所述重力补偿器的力由来自于所述第一力-距离特征曲线和来自于所述第二力-距离特征曲线的力的相加产生，并且其中

-由力的相加产生的力-距离特征曲线具有第三支承刚度S3，其来自于包括所述力F的至少一个第三力区间ΔF3的最大和最小力之间的差ΔFF3与围绕至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1的绝对值的商，其中所述至少一个第三力区间ΔF3由所述产生的力-距离特征曲线通过围绕所述至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1定义，并且在此情况中，所述至少一个点z0*由所述产生的力-距离特征曲线分配给所述力F，并且其中

-所述第三支承刚度S3小于或等于所述第一支承刚度S1，以及/或者其中所述产生的力-距离特征曲线具有彼此相距超过所述第一距离区间Δz1的至少两个点z0*，以及/或者其中，在所述产生的力-距离特征曲线中，围绕所述力F的差ΔFF1被分配给大于所述第一距离区间Δz1的距离区间。

2.如权利要求1所述的重力补偿器，其中，所述衔铁在所述力F的方向上可移动围绕所述点z0*的第一距离区间Δz1。

3.如前述权利要求中的任一项所述的重力补偿器，其中所述第一距离区间Δz1小于3mm。

4.如前述权利要求中的任一项所述的重力补偿器，其中所述第三支承刚度小于2N/mm。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的重力补偿器，其中，所述衔铁垂直于所述力F的移动被由所述引导装置产生的横向力在垂直于所述力F的方向上，限制为小于所述衔铁在所述力的方向上的移动的绝对值的10％。

6.如前述权利要求中的任一项所述的重力补偿器，其中所述光学元件至少部分地被支撑装置直接或间接地支撑在所述衔铁的所述力施加点处。

7.如权利要求6所述的重力补偿器，其中，所述光学元件是光刻EUV投射曝光设备的反射镜，并且其中所述力F是所述反射镜的重力或所述重力的一部分。

8.如权利要求6或7所述的重力补偿器，其中，所述支撑装置在垂直于所述力F的方向的方向上比所述引导装置在此方向上具有更小的刚度。

9.如权利要求6或7所述的重力补偿器，其中，所述支撑装置在垂直于所述力F的方向的方向上比所述引导装置在此方向上具有更大的刚度。

10.如权利要求6至9中的任一项所述的重力补偿器，其中，所述支撑装置在所述力F的方向上具有大于所述差ΔFF3的100倍的刚度。