[发明专利]齿条-小齿轮机构、真空处理装置、齿条-小齿轮机构的驱动控制方法、驱动控制程序及记录介质

权利要求书

1.一种齿条-小齿轮机构，该齿条-小齿轮机构具有：齿条，其固定于载置台，该载置台在搬运轨道上移动，用于搭载被搬运物；多个小齿轮，其连结于驱动源，用于与所述齿条啮合，在这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转并依次与所述齿条啮合，由此将所述齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而搬运所述载置台，其特征在于，

该齿条-小齿轮机构包括：

用于检测所述小齿轮的相位差值的部件；

控制装置，其具有用于存储所述检测部件所检测到的所述小齿轮的相位差值的存储部，该控制装置基于所述当前工序的小齿轮的相位差值，对所述下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。

2.如权利要求1所述的齿条-小齿轮机构，其特征在于，

所述控制装置进行如下控制：

在所述当前工序的小齿轮上确定基准点并存储该基准点，

求出所述当前工序的小齿轮从开始与所述齿条啮合时到啮合结束时为止转离所述基准点的角度，

以360度÷小齿轮的齿数来算出所述当前工序的小齿轮的1个齿角，

用所述旋转角除以所述1个齿角，算出余出的角，

在所述余出的角大于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向转动以1个齿角-余出的角所得到的角度，

另一方面，在所述余出的角小于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向的相反方向旋转所述余出的角的角度。

3.如权利要求2所述的齿条-小齿轮机构，其特征在于，在所述余出的角与所述1个齿角的1/2相同的情况下，结束控制。

4.如权利要求1所述的齿条-小齿轮机构，其特征在于，

所述控制装置进行如下控制：

用所述当前工序的小齿轮和所述下一工序的小齿轮之间的距离L、所述齿条的齿距p及所述下一工序的小齿轮的齿数，算出相位差值并将该相位差值存储于所述存储部，

基于所述相位差值，使所述下一工序的小齿轮向前进方向旋转。

5.如权利要求4所述的齿条-小齿轮机构，其特征在于，在所述齿条的齿距p上，加上根据与设置环境的气氛温度相对应的热膨胀系数算出的膨胀量。

6.一种真空处理装置，其特征在于，

所述被搬运物为基板，该真空处理装置具有权利要求1～5中的任意一项所述的齿条-小齿轮机构作为所述载置台的搬运机构，

多个真空室被沿搬运轨道连接，各真空室中分别设有所述小齿轮。

7.一种齿条-小齿轮机构的驱动控制方法，该齿条-小齿轮机构具有：齿条，其固定于载置台，该载置台在搬运轨道上移动，用于搭载被搬运物；多个小齿轮，其连结于驱动源，用于与所述齿条啮合，在这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转并依次与所述齿条啮合，由此将所述齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而搬运所述载置台，其特征在于，

该驱动控制方法具有如下步骤：

在所述当前工序的小齿轮上确定基准点并存储该基准点；

求出所述当前工序的小齿轮从开始与所述齿条啮合时到啮合结束时为止转离所述基准点的角度；

以360度÷小齿轮的齿数来算出所述当前工序的小齿轮的1个齿角；

用所述旋转角除以所述1个齿角，算出余出的角；

在所述余出的角大于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向转动以1个齿角-余出的角所得到的角度；

另一方面，在所述余出的角小于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向的相反方向旋转所述余出的角的角度。

8.如权利要求7所述的齿条-小齿轮机构的驱动控制方法，其特征在于，在所述余出的角与所述1个齿角的1/2相同的情况下，结束控制。