[发明专利]光电位置测量装置和光电位置测量方法有效
申请号: | 200980150201.7 | 申请日: | 2009-11-20 |
公开(公告)号: | CN102246007A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | W·阿曼 | 申请(专利权)人: | 莱卡地球系统公开股份有限公司 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;孙海龙 |
地址: | 瑞士海*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 位置 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种光电位置测量装置,所述光电位置测量装置包括:
-代码载体(6),其载有能够光学测量的位置代码(PC);
-向代码载体(6)发出光辐射(3)的辐射源(2);
-具有至少一个第一传感器单元(13)的测量单元(14,82),第一传感器单元具有至少一个用于接收光辐射(3)的至少一部分的光敏接收区(12),由此能产生取决于位置代码(PC)的扫描信号并因此能测量代码载体(6)相对第一传感器单元(13)的位置;以及
-折射光学元件(8,20,30,81),它设置在代码载体(6)和第一传感器单元(13)之间并且具有一个聚焦区段(10,21,31,89)和至少一个邻接区段(9,11,22,32,33,85,86),其中:
-能够通过该聚焦区段(10,21,31,89)将与聚焦区段(10,21,31,89)的光轴(OA)平行入射的、或相对于聚焦区段(10,21,31,89)的光轴(OA)以小于临界角度(α)的入射角度入射的辐射(3)偏转向第一传感器单元(13)的位于光轴(OA)上的接收区(12),以及
-通过该聚焦区段(10,21,31,89)和该邻接区段(9,11,22,32,33,85,86),将相对该光轴(OA)以在大于临界角度(α)的偏转角度区内的入射角度入射的辐射偏转向在光轴外的位置,
其中该代码载体(6)可相对第一传感器单元(13)以一个自由度、尤其是转动或平移地运动,
其特征在于,该聚焦区段(10,21,31,89)和该邻接区段(9,11,22,32,33,85,86)在靠近代码载体(6)的一侧具有弯曲的表面(23,24,34-36,83,84),其中聚焦区段(10,21,31,89)的表面(23,34)的曲率半径(R1)不同于所述至少一个邻接区段(9,11,22,32,33,85,86)的表面(24,35,36)的曲率半径(R2,R3)。
2.一种光电位置测量装置,所述光电位置测量装置包括:
-代码载体(6),其载有可光学测量的位置代码(PC);
-用于向代码载体(6)发出光辐射(3)的辐射源(2);
-具有至少一个第一传感器单元(13)的测量单元(14),所述第一传感器单元具有用于接收光辐射(3)的至少一部分的至少一个光敏接收区(12),由此,能够产生取决于位置代码(PC)的扫描信号,因而能测量代码载体(6)的相对第一传感器单元(13)的位置;以及
-折射光学元件,其设置在代码载体(6)和第一传感器单元(13)之间并且具有一个聚焦区段(10′)和至少一个邻接区段(9′,11′),其中
-可通过该聚焦区段(10′)将与聚焦区段(10′)的光轴(OA)平行入射的、或相对聚焦区段(10′)的光轴(OA)以小于临界角度(α)的入射角度入射的辐射(3)偏转到所述第一传感器单元(13)的位于光轴(OA)上的接收区(12),以及
-通过该聚焦区段(10′)和该邻接区段(9′,11′),能将相对光轴(OA)以在大于临界角度(α)的偏转角度区内的入射角度入射的辐射偏转到在该光轴之外的位置,
其中该代码载体(6)可相对第一传感器单元(13)以一个自由度、尤其是旋转或平移地运动,
其特征在于,该聚焦区段(10′)在靠近代码载体(6)的一侧具有弯曲的表面,并且该邻接区段(9′,11′)在靠近代码载体(6)的一侧具有朝外升高的平坦表面。
3.根据权利要求1或2的位置测量装置,其特征在于,该光学元件(8,30,81)具有两个邻接区段(9,11,9′,11′,32,33,85,86),该中央聚焦区段(10,10′,31,89)设于它们之间。
4.根据权利要求1至3之一的位置测量装置,其特征在于,该光学元件(8,81)固定在第一传感器单元(13)和/或测量单元(14,82)上,尤其是被粘结、通过速动连接或夹持连接被保持或被胶合。
5.根据权利要求1至4之一的位置测量装置,其特征在于,在光学元件(8,20,30,81)和第一传感器单元(13)之间设有装有浸没液的容槽。
6.根据权利要求1至5之一的位置测量装置,其特征在于,该传感器单元(13,44,45)相对于光轴(OA)错开地设置。
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