[发明专利]电化学传感器及其制造方法

权利要求书

1.电化学传感器(1)，其具有探测区(10)，所述探测区的电导率(σ)通过电子隧穿、电离或者跳动过程以及所述探测区与待测目标物质的电化学相互作用来确定。

2.根据权利要求1所述的电化学传感器(1)，其中，所述探测区(10)的所述电导率(σ)与温度(T)的相关性大致通过关系式ln σ～T^γ得到，其中，特征指数(γ)具有0至1之间的值，优选具有大约为0.25的值、大约为0.5的值或者大约为1的值。

3.根据权利要求1或2所述的电化学传感器(1)，所述电化学传感器的所述探测区(10)由嵌入基质(12)的、与基质材料相比具有更高电导率的纳米粒子(14)构成。

4.根据权利要求3所述的电化学传感器(1)，其纳米粒子(14)是金属的。

5.根据权利要求4所述的电化学传感器(1)，其中，所述金属的纳米粒子(14)由化学稳定的材料构成，优选由金或铂构成。

6.根据权利要求1至5之一所述的电化学传感器(1)，其中，所述基质(12)由聚合物材料构成，优选由有机或无机的结构元件、由碳基化合物、碳氧化合物、氢化合物、氟化合物和/或含金属的结构元件构成。

7.根据权利要求1至5之一所述的电化学传感器(1)，其中，所述基质(12)由有机、无机或者绝缘材料构成。

8.根据权利要求1至7之一所述的电化学传感器(1)，其中，构成所述基质(12)的材料和/或构成所述纳米粒子(14)的材料是依据与规定的目标物质的所期望的相互作用来选择的。

9.根据权利要求1至8之一所述的电化学传感器(1)，其中，所述纳米粒子(14)的平均粒径最大为100nm，优选最大为10nm，特别优选的是最大为1nm。

10.根据权利要求1至9之一所述的电化学传感器(1)，其中，所述探测区(10)通过施加到承载体(16)上的涂层构成。

11.根据权利要求10所述的电化学传感器(1)，其中，在一个共同的承载体(16)上设置多个探测区(10)，所述多个探测区彼此之间就基质(12)和/或纳米粒子(14)的材料选择而言、和/或就纳米粒子(14)的尺寸和/或密度而言是彼此不同的。

12.一种用于制造根据权利要求1至11之一所述的电化学传感器(1)的方法，其中，所述探测区(10)是通过局部施加能量、优选通过电子束诱导沉积来制造的。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，在基底(52)附近的多个沉积区(54)在用于转化的能量作用下激活以气态提供的前体物质(50)，其中转化物以固定或者不挥发的形式沉积在所述基底(52)上。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，采用有机、无机、绝缘或者金属的有机单体、低聚物和/或聚合物作为所述前体物质(50)。

15.根据权利要求13或14所述的方法，其中，用于在能量作用下激活所述前体物质(50)的离子束、光子束或电子束根据沉积物(56)的预定目标几何形状，相对于所述基底(52)沿横向或者按照三维方式移动。

16.根据权利要求13至15之一所述的方法，其中，在沉积期间所述基底(52)的温度和/或前体源的温度是以取决于在所述沉积区(54)中确定的所述前体物质(50)的蒸汽压力的方式调节的。

17.根据权利要求13至16之一所述的方法，其中，设定下列多个参数，以使所述探测区(10)具有预定的电导率：所述前体物质(50)的类型、数量和/或成分、所述沉积区(54)的气压、局部施加能量的强度、其照射时间、其焦点尺寸、基底材料和/或基底温度。