[发明专利]压电振动设备、压电振动设备的制造方法以及构成压电振动设备的结构构件的蚀刻方法

权利要求书

1.一种压电振动设备，其特征在于，

设置有形成了激励电极的压电振动板、和将所述激励电极进行气密密封的上盖构件以及下盖构件，

在所述压电振动板的表背主面具有所述上盖构件以及所述下盖构件的各接合区域，

在所述上盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，

在所述下盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，在所述下盖构件的另一主面具有与外部构件的接合区域，

在所述压电振动板的接合区域、所述上盖构件的接合区域、以及所述下盖构件的接合区域中，分别形成构成接合材料的接合层，

所述压电振动板的接合区域和所述上盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，

所述压电振动板的接合区域和所述下盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，

所述压电振动板的接合区域的基体、所述上盖构件的接合区域的基体、以及所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化。

2.一种压电振动设备，其特征在于，

设置有形成了激励电极的压电振动板、和将所述激励电极进行气密密封的上盖构件以及下盖构件，

在所述上盖构件的一个主面具有与所述下盖构件的接合区域，

在所述下盖构件的一个主面具有与所述上盖构件的接合区域，在所述下盖构件的另一主面具有与外部构件的接合区域，

在所述上盖构件的接合区域和所述下盖构件的接合区域中，分别形成构成接合材料的接合层，

所述上盖构件的接合区域和所述下盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，

所述上盖构件的接合区域的基体和所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化。

3.根据权利要求2所述的压电振动设备，其特征在于，

在所述下盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，

与所述压电振动板的接合区域的基体被面粗化。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压电振动设备，其特征在于，

形成在被面粗化了的所述接合区域的基体上的所述接合层的表面被面粗化。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的压电振动设备，其特征在于，

所述压电振动板的接合区域的基体被面粗化，

所述上盖构件的接合区域的基体和所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化，

所述上盖构件和所述下盖构件中的至少一个的所述接合区域的基体的表面成形得比所述压电振动板的接合区域的基体的表面粗糙。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的压电振动设备，其特征在于，

所述上盖构件和所述下盖构件中的至少一个的所述接合区域被面粗化，

被面粗化了的所述接合区域与所述压电振动板的接合区域相比，形成为在俯视时在所述一个主面的内侧方向上更宽。

7.根据权利要求1～5中的任意一项所述的压电振动设备，其特征在于，

所述上盖构件和所述下盖构件中的至少一个的所述主面全体被面粗化。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的压电振动设备，其特征在于，

所述压电振动板的接合区域被面粗化，

在所述上盖构件和所述下盖构件中的至少一个的所述接合区域的附近，设置有在面方向不同的多个面中接合所述接合材料的多个面接合部，

在所述多个面接合部的外部设置有扩大防止部，该扩大防止部防止扩大与所述接合材料的接合区域。