[发明专利]感光浆料和使用感光浆料产生图案的方法无效
申请号: | 200980152929.3 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN102308257A | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 伊藤和重;野田浩章 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 浆料 使用 产生 图案 方法 | ||
1.感光浆料,所述浆料包含可聚合单体和光聚合反应引发剂,其中所述可聚合单体的玻璃化转变温度为-10℃或更低。
2.根据权利要求1的感光浆料,其中具有-10℃或更低的玻璃化转变温度的所述可聚合单体的含量基于所述浆料中可聚合单体的总重量为50重量%至100重量%。
3.根据权利要求1的感光浆料,其中具有-10℃或更低的玻璃化转变温度的所述可聚合单体的内容物选自(a)其中两种或更多种丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物,(b)其中两种或更多种甲基丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物,(c)其中两种或更多种丙烷丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物,(d)其中两种或更多种丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物,(e)其中两种或更多种甲基丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物,和(f)其中两种或更多种丙烷丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物。
4.根据权利要求1的感光浆料,所述感光浆料包含导电粉末、玻璃粉、有机粘合剂和有机溶剂,并且其中所述感光浆料用于产生电极。
5.根据权利要求1的感光浆料,所述感光浆料包含玻璃粉、有机粘合剂和有机溶剂,并且其中所述感光浆料用于产生绝缘图案。
6.产生图案的方法,所述方法包括以下步骤:
施加包含可聚合单体和光聚合反应引发剂的感光浆料,所述可聚合单体的玻璃化转变温度为-10℃或更低;
将施加的浆料曝光,其引发所述可聚合单体的聚合反应;
将曝光的浆料显影,从而形成图案;以及
将所述图案烧结。
7.根据权利要求6的方法,其中具有-10℃或更低的玻璃化转变温度的所述可聚合单体的含量基于所施加的浆料中可聚合单体的总重量为50至100重量%。
8.根据权利要求6的方法,具有-10℃或更低的玻璃化转变温度的所述可聚合单体的内容物选自其中两种或更多种丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物、其中两种或更多种甲基丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物、其中两种或更多种丙烷丙烯酸酯以烷氧基键联的化合物、其中两种或更多种丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物、其中两种或更多种甲基丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物、以及其中两种或更多种丙烷丙烯酸酯以聚亚烷基二醇键联的化合物。
9.根据权利要求6的方法,其中所施加的浆料还包含导电粉末、玻璃粉、有机粘合剂和有机溶剂,并且所形成的图案是电极。
10.根据权利要求6的方法,其中所施加的浆料进一步包含玻璃粉、有机粘合剂和有机溶剂,并且所形成的图案是绝缘图案。
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