[发明专利]高CTE玻璃的激光辅助的玻璃料密封以及制得的密封的玻璃封装有效
申请号: | 200980153150.3 | 申请日: | 2009-11-20 |
公开(公告)号: | CN102264662A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | S·L·罗格诺弗;S·马加诺维克 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | C03C27/06 | 分类号: | C03C27/06;B23K26/32;C30B33/06;C09J5/06;H01L51/52 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cte 玻璃 激光 辅助 密封 以及 玻璃封装 | ||
1.一种用来制造玻璃封装的方法,所述方法包括以下步骤:
提供第一玻璃板,其中所述第一玻璃板的热膨胀系数CTE约为80-90×10-7℃-1;
提供第二玻璃板;
提供玻璃料,其中所述玻璃料的CTE至少约为35×10-7℃-1;
将玻璃料沉积在第一玻璃板或第二玻璃板上;
将所述第一玻璃板设置在第二玻璃板上,其中玻璃料位于第一玻璃板和第二玻璃板之间;
使用激光器引导激光束通过所述第一玻璃板或第二玻璃板,射向玻璃料,然后使得激光束以预定的密封速度,沿着所述玻璃料移动,以加热玻璃料,使得所述玻璃料熔化,形成将第一玻璃板与第二玻璃板相连的密封件;以及
所述激光束在所述玻璃料上形成激光束覆盖区,在所述激光束覆盖区内的玻璃料的一个位置的停留时间等于或大于100毫秒。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述激光束在玻璃料的一个位点的停留时间使得在玻璃料中心和边缘的加热和冷却基本均一。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述第二玻璃板的CTE约为30x10-7℃-1,或者小于第一玻璃板的CTE。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法,其特征在于,以一种方式按照预定的加热曲线以大约20-50毫米/秒的预定密封速度进行玻璃料的熔化以形成密封件,从而防止第一玻璃板和第二玻璃板之间的密封的玻璃料的随后的裂纹和分层。
5.如权利要求1-4中任一项所述的方法,其特征在于,所述激光束的光点尺寸大于玻璃料的宽度。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述激光束具有高斯强度分布或基本均一的强度分布。
7.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述激光束具有基本均一的强度分布。
8.如权利要求1-7中任一项所述的方法,其特征在于,所述第一玻璃板是钠钙玻璃板。
9.如权利要求1-8中任一项所述的方法,其特征在于,所述第二玻璃板是钠钙玻璃板。
10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一玻璃板的应变点约低于500℃。
11.如权利要求1-10中任一项所述的方法,其特征在于,对于约等于或大于100毫秒的停留加热时间,第一玻璃板的应变点减去密封之前的第一玻璃板的平衡温度的差值约小于300℃。
12.如权利要求1-10中任一项所述的方法,其特征在于,对于约等于或大于200毫秒的停留加热时间,第一玻璃板的应变点减去密封之前的第一玻璃板的平衡温度的差值约小于400℃。
13.如权利要求1-10中任一项所述的方法,其特征在于,对于约等于或大于400毫秒的停留加热时间,第一玻璃板的应变点减去密封之前的第一玻璃板的平衡温度的差值约小于500℃。
14.如以上权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述密封的第一玻璃板的残余应力不大于约1500磅/平方英寸。
15.如以上权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括在进行设置步骤之前,将玻璃料预烧结在第一玻璃板或第二玻璃板上的步骤。
16.如以上权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括在进行设置步骤之前,将至少一个部件放置在第二玻璃板上的步骤。
17.如以上权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,用所述密封装置加热所述玻璃料,以便在所述玻璃料熔化并形成连接第一玻璃板和第二玻璃板的密封件的时候,使所述玻璃料沿密封线保持基本恒定的温度。
18.如权利要求1-17中任一项所述的方法,其特征在于,所述玻璃料包括钒-磷酸盐玻璃和β-理霞石填料。
19.如权利要求1-17中任一项所述的方法,其特征在于,所述玻璃料包含用一种或多种吸收离子掺杂的玻璃,所述吸收离子选自:铁、铜、钒、锰、钴、镍、铬或钕。
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