[发明专利]流路结构体及其制造方法

权利要求书

1.一种流路结构体，其中，具备：

基板，其具有形成有流路槽的第一表面，该流路槽具有由硅构成的内壁；

多个纤维状突起物，其从所述流路槽的所述内壁延伸且由二氧化硅构成，

液体在所述流路槽内流动。

2.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述多个纤维状突起物具有以分别相互缠绕的方式卷曲的形状。

3.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述多个纤维状突起物向相同的方向延伸。

4.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述多个纤维状突起物分别具有分支出的多个枝体。

5.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述流路槽的所述内壁具有底部和从所述底部延伸到所述基板的所述第一表面的侧壁，

所述多个纤维状突起物从所述流路槽的所述内壁的所述底部和所述侧壁延伸。

6.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述多个纤维状突起物分别包括以金属构成的多个核和与所述多个核相连的二氧化硅的分子。

7.根据权利要求6所述的流路结构体，其中，

所述多个核附着在所述槽的所述内壁上。

8.根据权利要求6所述的流路结构体，其中，

与所述多个核相连的二氧化硅的所述分子由所述流路槽的所述内壁的所述硅和氧构成。

9.根据权利要求6所述的流路结构体，其中，

所述金属为Pt、Fe、Co、Ni、Au中的一种。

10.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述多个纤维状突起物与所述液体在所述流路槽内流动的方向平行地延伸。

11.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述流路槽具有在连接部合流的多个导入路槽和从所述连接部延伸的合流路槽，

所述多个纤维状突起物形成在所述合流路槽内。

12.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述流路槽的所述内壁具有底部和从所述底部延伸到所述基板的所述第一表面的侧壁，

所述基板包括具有透光性的底板部，该底板部构成所述底部。

13.根据权利要求12所述的流路结构体，其中，

所述底板部含有作为主要成分的二氧化硅。

14.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述基板还具有所述第一表面的相反侧的第二表面，

在所述流路槽的相反侧且所述基板的所述第二表面设置有凹部。

15.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述流路槽的所述内壁具有底部，

所述基板包括：

侧壁基板，其具有成为所述流路槽的贯通孔；

底板部，其构成所述流路槽的所述底部且具有以堵塞所述贯通孔的方式与所述侧壁基板接合的第一面，并且该底板部具有透光性。

16.根据权利要求1所述的流路结构体，其中，

所述底板部还具有所述第一面的相反侧的第二面，

在所述流路槽的相反侧且所述基板的所述第二表面设置有凹部，

所述基板还具有位于所述凹部的周围且与所述底板部的所述第二面接合的腿部。

17.一种流路结构体的制造方法，其中，包括：

在基板的表面形成具有由硅构成的内壁的流路槽的步骤；

形成从所述流路槽的所述内壁延伸且由二氧化硅构成的多个纤维状突起物的步骤。

18.根据权利要求17所述的流路结构体的制造方法，其中，

形成所述多个纤维状突起物的步骤包括：

将由金属构成的多个核附着在所述流路槽的所述内壁上的步骤；

在含有氧的第一气氛下对所述基板进行热处理，并通过形成由所述内壁的所述硅和所述氧构成的与所述附着的多个核相连的二氧化硅的分子而形成所述多个纤维状突起物的步骤。