[发明专利]流出气体的改良式减量系统及方法

说明书

关联申请的引用

本发明主张美国专利申请号12/348,012的优先权，美国专利申请号12/348,012于2009年1月1日提出申请，其标题为“流出气体的改良式减量系统及方法”(代理人文件编号9139/P01)，其全文在此并入本文做为参考。

技术领域

本发明的态样一般涉及用于制造微电子结构的系统及方法(例如电子组件制造系统)，更详言的，涉及用于改良减量系统的操作的方法与设备。

背景技术

电子组件制造工具在现有技术中是利用腔室或其它适于执行制程(例如化学气相沉积、外延硅成长、蚀刻等)的合适设备以制造电子组件。此类制程可产生具有非期望化学物质的流出物，其为制程的副产物。现有技术电子及微电子结构和组件制造系统可使用减量设备以处理流出物。

现有技术减量单元及制程是利用多种资源(例如反应剂、水、电等)以处理流出物。此类减量单元在现有技术上可在无关特定流出物组成及极少关于减量单元处理的流出物的信息下操作。再者，气体流量及组成信息可储存在用于制造结构的机密的电子结构处理配方(recipe)中，而这些机密的配方对减量单元而言是不可获得的。

因此，现有技术减量单元会非最佳地使用减量资源。举例而言，非最佳地使用减量资源包括生成等离子体中过量的功率损耗。非最佳地使用资源会造成效能不佳地使用资源，其招致更高的操作成本以及生产设备中非期望的负荷。此外，不最佳地使用资源的减量单元需要更频繁的维修。

因此，兹需要用于减量流出物的改良方法及设备。

发明内容

本发明的态样包括在配方批的启动点以高层级设定开始减量，在处理该批的第一基材期间记录气体流量，分析在处理该批中所使用的配方气体，决定用于减量流出气体的最佳减量设定，施行用于减量配方批的流出气体的最佳减量设定。一旦开始具有新配方的新配方批，就可重复这些动作。

在本发明的实施例中，提供了一种方法，其包括：于高层级设定启动减量系统；在该减量系统接收具有非期望材料的流出物；在该高层级设定使用该减量系统减量该非期望材料；接收关于该流出物的信息；分析该信息以决定最佳设定，其中该最佳设定对应至选择的设定效能；调整该高层级设定至该最佳设定；以及接收具有更多该非期望材料的更多该流出物。在该最佳设定可减弱更多该非期望材料。

本发明的其它实施例包括一种系统，其包括至少一个传感器、接口及减量系统。该至少一个传感器可适于测量关于存在于电子组件制造系统中的气体的气体信息，并且传播该气体信息。该接口可适于接收并分析来自产生具有非期望材料的流出物的电子组件制造系统的气体信息，适于决定最佳设定，并且适于传播该最佳设定。最佳设定可对应至选择的设定效能。减量系统可适于接收该最佳设定，适于接收该流出物，以及适于减弱该非期望材料。减量系统可进一步适于在以高层级设定操作时开始减量配方批的流出物的非期望材料，且适于接收该最佳设定即调整该高层级设定至该最佳设定。

本发明的其它特征及态样由以下详细描述、附加的权利要求以及伴随的图式将变得更加清楚。

附图说明

参考示出本发明的示范性实施例的附图，以下提供的详细描述详细地解释本发明的各种特征、优点以及改良处。

然而应注意到，这些附图并不一定按尺寸绘制或在机械结构上完整绘制。这些附图仅示出本发明的个别实施例；因此，不应考虑这些附图为限制其范围，因本发明可包括其它等效的实施例。

图1为概要图，其根据本发明的实施例描绘具有电子组件制造工具、泵、接口以及减量系统的电子组件制造系统。

图2为流程图，其描绘根据本发明的实施例调整减量系统的方法。

图3为曲线图，其根据本发明的实施例示出示范性消灭效能及等离子体功率之间的第一关系，这些离子体功率是用于利用示范性减量制程的等离子体减量系统。

图4为曲线图，其根据本发明的实施例示出示范性消灭效能及水流量之间的第二关系，水在利用示范性减量制程的等离子体减量系统中为反应物。

具体实施方式

本发明涉及用于最佳化地减量在电子组件制造期间所产生的非期望材料的方法及设备。更特定而言，本发明涉及最佳化减量系统，这些系统适于减弱或消除电子组件制造工具的流出物中非期望的材料。