[发明专利]双模式质量流检验以及质量流递送系统和方法

权利要求书

1.一种用于流体质量流递送和用于流体质量流检验的系统，该系统包括：

腔；

入口阀，所述入口阀配置以控制流入腔的流体流；

出口阀，所述出口阀配置以控制流出腔的流体流；

压力传感器，所述压力传感器配置以测量腔内压力；以及

控制器；

其中控制器配置以当处于第一模式时控制入口阀和出口阀的打开和关闭，以使得检验由一设备对流体流率的测量；以及

其中控制器还配置以当处于第二模式时控制入口阀和出口阀的打开和关闭，以使得将所需量的流体从腔中递送至输出处理设备中。

2.根据权利要求1所述的系统，其中控制器响应于用户输入，用于在第一模式和第二模式之间选择。

3.根据权利要求1所述的系统，其中控制器还配置以接收指示在第一和第二模式之间选择的输入信号，并且响应于接收得的输入信号而以在第一和第二模式中所选之一运行。

4.根据权利要求3所述的系统，还包括输入设备，所述输入设备用于传输指示在第一和第二模式之间选择的输入信号，并且其中控制器配置以通过输入设备接收输入信号。

5.根据权利要求1所述的系统，还包括温度传感器，所述温度传感器配置以测量腔内流体的温度。

6.根据权利要求1所述的系统，其中控制器配置以当处于第一模式时测量在出口阀关闭后一定时间阶段期间腔内流体压力的增长率，并且使用测得的增长率而计算从设备流出的流体流率。

7.根据权利要求6所述的系统，其中控制器还进一步配置以当处于第一模式时，使用下述等式计算流体的流率Q：

Qin=k0·Tstp·VcPstp·ddt(PT)]]>

其中P是腔中的气体压力；

T是气体温度；

V_c是腔容器的容积；

K₀是热功转换当量，以sccm(每分钟的标准立方厘米)单位为6×10⁷，以slm(每分钟标准升)单位为6×10⁴；

P_stp是标准压力(＝1.01325e5Pa)；以及

T_stp是标准温度(＝273.15K)。

8.根据权利要求1所述的系统，其中设备包括至少下列其中之一：质量流控制器和流量比控制器。

9.根据权利要求1所述的系统，其中控制器配置以当处于第二模式时，测量在一定时间阶段期间流入腔内的流体质量，并且随后通过控制入口阀和出口阀的打开和关闭而递送所需质量的流体进入和输出处理设备。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所需质量的流体包括所需摩尔数量的流体，并且其中控制器配置以当处于第二模式时，通过监视压力换能器的压力测量值以及温度传感器的温度测量值来测量该时间阶段期间流入腔内的流体的摩尔数量。