[发明专利]激光器镜的瞬态受热补偿

权利要求书

1.一种用于反射激光束的镜结构，包括：

主体，具有形成在其上的用于反射激光束的弯曲反射表面，当使用时所述表面被所述激光束加热；以及

所述主体构造为使得所述主体的热中性平面与所述弯曲表面的位置大致重合，以使由于加热引起的所述弯曲表面的畸变最小化。

2.如权利要求1所述的镜结构，其中，所述主体包括其上形成所述弯曲表面的中心部，以及在所述中心部的每侧的侧部，所述侧部在所述反射表面前后延伸。

3.如权利要求1所述的镜结构，其中，所述反射表面为凹形表面。

4.如权利要求3所述的镜结构，其中，所述热中性平面位于与所述反射表面的端大致重合和与所述反射表面的中心大致相切之间。

5.如权利要求1所述的镜结构，其中，在所述镜主体中形成有沟槽，以用于使冷却剂流体在其中循环。

6.一种用于反射激光束的镜结构，包括：

细长镜构件，其具有用于反射激光束的弯曲前表面，当使用时所述表面被所述激光束加热；以及

一对细长热平衡构件，其沿着所述镜构件的顶面和底面安装，各平衡构件的前部在向前方向上延伸越过所述镜构件的弯曲前表面，所述热平衡构件构造为将所述结构的所述热中性平面靠近所述弯曲表面对齐，以使由于受热引起的所述弯曲表面的畸变最小化。

7.如权利要求6所述的镜结构，其中，所述平衡构件中的一个的后表面包括安装凸起部以用于将所述结构连接至激光器的镜凸缘。

8.如权利要求7所述的镜结构，其中，所述安装凸起部具有显著小于所述热平衡构件的长度的长度，以使所述镜结构和所述凸缘之间的热连通最小化。

9.如权利要求6所述的镜结构，其中，所述热平衡构件为流体冷却的。

10.如权利要求6所述的镜结构，其中，所述镜构件具有矩形剖面，并且所述热平衡构件具有这样的L形剖面，其中所述前部比后部厚，且所述较厚的前部延伸越过所述镜构件的所述反射表面。

11.一种用于反射激光束的镜结构，包括：

细长中心构件，其具有矩形剖面且具有用于反射所述激光束的细长凹形反射前表面，所述表面具有预定曲率，并且当使用时所述表面被所述激光束加热；以及

第一和第二细长侧构件，其附接于所述中心构件的顶面和底面，各侧构件具有L形剖面，从而提供细长薄部分和细长厚部分，其中各侧构件的所述厚部分在向前的方向上延伸越过所述中心构件的凹形反射表面，并且所述中心构件和所述侧构件构造为将所述结构的热中性平面靠近所述凹形反射表面对齐，以使由于受热引起的所述反射表面的曲率变化最小化。

12.如权利要求11所述的镜结构，其中，所述热中性平面在与所述反射表面的端大致重合和与所述反射表面的顶点大致相切之间对齐。

13.如权利要求11所述的镜结构，其中，所述侧构件中的一个的后表面包括安装凸起部，以用于将所述结构连接至激光器的镜凸缘。

14.如权利要求13所述的镜结构，其中，所述安装凸起部具有显著小于所述热平衡构件的长度的长度，以使所述镜结构和所述凸缘之间的热连通最小化。

15.如权利要求11所述的镜结构，其中，所述热平衡构件为流体冷却的。

16.如权利要求11所述的镜结构，其中，所述前构件和所述侧构件由相同的材料制成。

17.如权利要求16所述的镜结构，其中，所述前构件和所述侧构件的材料为铜。

18.如权利要求11所述的镜结构，其中，所述侧构件由第一材料制成，且由与所述第一材料不同的第二材料制成的条附接于各侧构件的朝向前的表面，用于进一步使由于受热引起的所述反射表面的曲率半径的变化最小化。

19.如权利要求18所述的镜结构，其中，所述侧构件由铜制成，并且所述条由不锈钢制成。