[发明专利]管靶

权利要求书

1.管靶，所述管靶具有：

1.1圆柱形的承载管(23、38)，

1.2划分成至少一个部段(17-19、43-45)的圆柱形的靶(22、36、46)，所述靶布置在所述承载管(23、38)上，

1.3连接层(30、37)，所述连接层设置在所述靶(22、36、46)和所述承载管(23、38)之间，

其特征在于，所述靶(22、36)以相对于所述靶的转动轴线(5、27)平行和/或倾斜的方式具有至少一个槽(4、8、10、11、13、14、15、16、21、25、26、34、40、51-54)。

2.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述至少一个槽(4、10、11、13、14、15、16、21、25、26、34、40、51-54)的深度(h)从上侧延伸到内侧，并且大于所述靶(22、36、46)的厚度(s)的5％。

3.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述至少一个槽(4、10、25、26)平行于所述管靶(1、9)的所述转动轴线(5、27)地延伸。

4.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述靶具有多个槽(25、26)，所述槽平行于所述管靶的所述转动轴线(27)地延伸。

5.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述靶(1b、1c、46)具有至少一个槽(8、11、51-54)，所述槽以相对于所述管靶(7、9、50)的所述转动轴线(5)成角度□的方式延伸。

6.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述靶(1c)具有多个槽(10、11)，在多个所述槽中至少一个平行于所述管靶(9)的所述转动轴线(5)延伸，并且至少一个以相对于所述管靶的所述转动轴线成角度□的方式延伸。

7.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，多个槽(51-54)以相对于所述管靶(50)的所述转动轴线成角度□的方式延伸。

8.根据权利要求7所述的管靶，其特征在于，所述槽(51-54)分别具有彼此间相同的距离。

9.根据权利要求1所述的管靶，其特征在于，所述靶(1a、1b、1c)在纵向上划分成至少一个部段。

10.根据权利要求8所述的管靶，其特征在于，所述槽(51-54)彼此间的距离至少与等离子体区(55)的宽度相符。