[发明专利]热风供给装置及热风供给方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对针对工件实施加工或实施检查的各种处理装置供给处理上所需的热风的装置及方法。另外，本发明中，“热风”是指对空气等气体进行加热之意，并非根据其温度来区分。

背景技术

对处理装置的热风供给，一般采用利用电来加热的如周知的热风产生加热器。但是，该热风产生加热器是以对常温的气体进行直接、电阻或感应加热而使其升温至所需温度的方式来使用，因此热风产生加热器的电力消耗较大。而且，直至设定温度为止的升温会受到被加热气体的温度影响，因此启动时的稳定性也不佳。

针对前者的问题，可考虑如下述专利文献1所公开的衣物的干燥装置那样利用热泵。热泵与直接加热的情况相比，能够节约能量，近年来得到广泛普及。但是，热泵不容易进行稳定的温度控制。

关于此点，在专利文献1中公开了利用阀来切换作为冷却剂的CO₂的流路以进行温度控制的方法。

但是，由于要使CO₂冷却剂在超临界状态下工作，因而也有时压力会逼近100个大气压。因此，暂且不论衣服的干燥装置那样个别的大型装置，但是在工件的处理装置中采用如上所述的控制结构的话，则不仅会导致高成本而本末倒置，而且还会承担故障的风险。

此外，在使用热泵的情况下，其能力会受低温侧热源的温度变化等因素影响，因此启动时的稳定性并未得到改善。

此外，由于热泵不容易进行高精度的温度设定，因此对温度设定要求严格的工件处理则无法使用。作为要求严格的温度设定的处理例子而言，例如可列举用于制造电子零件的嵌件注塑中所用的、成形前的金属制带钢(hoop)的干燥。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]：日本国专利公开公报“特开2007-303756号公报”(2007年11月22日公开)

发明内容

因此，本发明的主要目的在于能够提供能量损耗少且低成本、温度精度高的热风。

用于实现此目的的方案是一种热风供给装置，被设置给进行工件处理的处理装置，其包括：热泵，生成温度比处理时所需的热风的设定温度低的热风；加热单元，对由所述热泵生成的热风进行加热；以及温度调整单元，控制所述加热单元，以将生成的热风的温度调整成设定温度。

即，在使用热泵生成温度比所需的热风的设定温度低的热风之后，对该热风进行加热升温，利用温度调整单元来调整成处理时所需的热风的设定温度。对于加热单元，可借助电或蒸汽(例如包括用于工件处理的高温蒸汽)等。而且，加热单元仅仅是将预先获得的热风的温度升高至设定温度，因此能够抑制能量消耗。并且，由于加热单元所承受的负担较少，因此温度调整也能比单用热泵时更加精度良好地进行，并且，由于是对预先获得的热风进行加热，因此启动时的稳定性也要比单用热泵时更好。

由热泵生成的热风的温度可根据受加热单元作用的热风的风量和加热单元的能力，以能够发挥迅速的响应性为目的来设定。

所述的温度控制单元既可以根据经加热单元加热的热风的温度来进行控制，也可以根据由热泵生成的热风的温度来进行控制，还可以根据这两者来进行控制。

作为进入所述热泵的低温侧热源，可使用吸收有热量的液体，该热量是：在使用该热风供给装置生成的热风的处理装置中或其它处理装置中进行工件处理时所产生的热量。

而且，作为进入所述热泵的低温侧热源，也可使用处理装置的冷却液。

所述加热单元可设在对带钢进行干燥的干燥装置中。带钢是用于制造电子零件的由金属薄板构成的长条带状材料，其干燥时要求严格的温度设定。因此，在压制加工后进行清洗干燥并卷绕带钢时，或在电镀后的清洗干燥时，或在带钢的嵌件注塑前的清洗干燥时等，能够较佳地利用加热单元。当然，也可以对应1个热风供给装置设置多个加热单元，将一部分加热单元设于在所述成形装置的前段对带钢进行干燥的干燥装置中，而将其他加热单元设于在所述卷绕装置的前段对带钢进行干燥的干燥装置中。

而且，进入所述热泵的低温侧热源也可以是对成形装置进行冷却的冷却液。热风供给装置的所述加热单元也可以设于在所述成形装置的前段对带钢进行干燥的干燥装置中。

由于利用了同一处理装置或其他处理装置中产生的热，因此效率良好，并且能够使工厂内的热向所需的方向传递而保持工厂内的环境良好。而且，由于利用了液体或冷却液，因此热负载量和导热性能优异，能够实现热泵的小型化。也可以依照情况而不设置对冷却液进行冷却的冷却器。