[发明专利]旋转速率传感器

权利要求书

1.旋转速率传感器(100)，包括：

具有衬底表面(190)的衬底，

设置在该衬底表面(190)上面的第一活动元件(110)，该第一活动元件具有驱动框架(120，520)和第一检测质量(130)，

第一电极(210)和第二电极(220)，该第一电极在该第一检测质量(130)下方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，该第二电极在该第一检测质量(130)上方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，其中，

该驱动框架(120，520)通过至少一个驱动弹簧(140)与该衬底连接，

该检测质量(130)通过至少一个检测弹簧(180，680)与该驱动框架(120，520)连接，

该第一活动元件(110)能被激励至平行于该衬底表面(190)的驱动振动，并且

该第一检测质量(130)能垂直于该衬底表面(190)偏移。

2.根据权利要求1所述的旋转速率传感器(100)，其中，

印制导线平面(230)、第一功能平面(240)和第二功能平面(250)分层地上下叠置，

该印制导线平面(230)与该衬底表面(190)连接，

该驱动框架(120)设置在该第一功能平面(240)及该第二功能平面(250)中，

该第一检测质量(130)至少部分地设置在该第一功能平面(240)中，

该第一电极(210)设置在该印制导线平面(230)中，并且

该第二电极(220)设置在该第二功能平面(250)中。

3.根据权利要求1或2所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该旋转速率传感器(100)具有一具有第二检测质量(270)的第二活动元件(260)，

该第一和第二检测质量(130，270)通过一个耦合弹簧(170，570)相互连接，

该第一和第二活动元件(110，260)能被激励至平行于该衬底表面(190)的耦合的驱动振动。

4.根据权利要求3所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一和第二活动元件(110，260)能被激励至耦合的驱动振动，其中该第一和第二活动元件(110，260)具有逆平行的偏移。

5.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一活动元件(110)具有稳定化框架(290)，该稳定化框架至少部分地设置在该第二功能平面(250)中。

6.根据权利要求5所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一活动元件(110)具有盆形形状，该盆形形状具有一设置在该第一功能平面(240)中的底部和一在该第一功能平面(240)和该第二功能平面(250)中通过该稳定化框架(290)构成的边缘。

7.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一活动元件(110)具有至少一个穿孔(280)，

该第二电极(220)通过所述穿孔(280)在一固定点(285)与该衬底表面(190)连接。

8.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

存在至少一个驱动梳形结构(150)，以便激励该第一活动元件(110)至驱动振动。

9.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一活动元件(110)通过至少一个外部弹簧(160)与该衬底表面(190)连接。

10.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该第一功能平面(240)和该第二功能平面(250)由导电硅组成。

11.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

至少一个另外的电极(310，320)设置在该第一检测质量(130)下方和/或上方。

12.根据权利要求11所述的旋转速率传感器(100)，其中，

所述至少一个另外的电极(310，320)被构造用于该第一检测质量(130)的静电式的正反馈、该第一检测质量(130)的位置调节和/或正交补偿。

13.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，

该旋转速率传感器(100)与分析电路连接，该分析电路设置用于：

由在该第一检测质量(130)与该第一和第二电极(210，220)之间的电容的变化推断出该第一检测质量(130)垂直于该衬底表面(190)的偏移，以及

由该第一检测质量(130)的该偏移推断出作用在该旋转速率传感器(100)上的旋转速率。