[发明专利]用于在工件上写入或读取图像的旋转臂

权利要求书

1.一种对工件进行写入或读取的方法，包括：

使用固定光学图像装置来形成或收集被中继的图像信息；

在固定光学图像装置与工件的表面之间沿至少一个旋转臂的光学系统 中继图像信息；和

在工件的整个表面上重复地扫描弯曲条纹，以写入或读取由被拼接的重 叠图像形成的连续图像补偿图像区域的位移。

2.如权利要求1所述的方法，还包括确定各重叠图像的栅格，并通过图 像处理在图像自身的栅格与公用基准栅格之间转换图像。

3.如权利要求1所述的方法，还包括以大致恒定的方位角取向在光学图 像装置与所述表面之间中继图案信息，其中当光学图像装置处的设定图像相 对于工件上的设定图像的被中继变体保持恒定角度关系时，即在被中继变体 分开达5度光学臂扫描幅度时的角度关系的旋转变化不大于0.5度的情况下， 被中继图像信息的方位角取向是大致恒定的。

4.如权利要求1所述的方法，还包括以大致恒定的方位角取向在光学图 像装置与所述表面之间中继图案信息，其中当光学图像装置处的设定图像相 对于工件上的设定图像的被中继变体保持恒定角度关系时，即在被中继变体 通过光学臂的45度扫描幅度分开时的角度关系的旋转变化不大于0.5度的情 况下，被中继图像信息的方位角取向是大致恒定的。

5.如权利要求1所述的方法，其中，中继图像信息的步骤还包括

横移与固定光学图像装置耦连并定位在旋转臂的旋转轴处或附近的第 一光轴；和

横移与所述表面耦连并从所述旋转轴沿旋转臂定位在远端的第二光轴。

6.如权利要求5所述的方法，其中，第一光轴和第二光轴在约8度内是 彼此大致平行或反平行的。

7.如权利要求5所述的方法，其中，第二光轴距所述旋转轴比第一光轴 远至少10倍。

8.如权利要求5所述的方法，还包括当第一光轴和第二光轴大致平行 时，保持被中继图像信息的光学宇称性。

9.如权利要求5所述的方法，还包括当第一光轴和第二光轴大致反平行 时，使被中继图像信息的光学宇称性逆向。

10.如权利要求1-9中任一项所述的方法，其中，光学图像装置形成被 中继至工件的图像。

11.如权利要求1-10中任一项所述的方法，其中，形成图像的光学图像 装置是SLM。

12.如权利要求1-11中任一项所述的方法，其中，形成图像的光学图像 装置是写入光束阵列。

13.如权利要求1-12中任一项所述的方法，其中，光学图像装置检测从 工件序列被中继来的图像。

14.如权利要求13所述的方法，其中，存在类型不同的两个或两个以上 的光学图像装置。

15.如权利要求14所述的方法，其中，至少一个光学图像装置发射穿过 臂的激励光束、并接收从工件返回的图像。

16.如权利要求1-15中任一项所述的方法，其中，被中继图像信息以脉 冲式印记序列被中继。

17.如权利要求1-16中任一项所述的方法，其中，被中继图像信息以大 致连续的扫描方式被中继。

18.如权利要求15所述的方法，还包括确定连续图像的各部分的栅格， 并在连续图像的各部分的栅格与连续图像的栅格之间转换连续图像的部分。

19.如权利要求18所述的方法，其中，连续图像的部分是局部图像。