[发明专利]油墨干燥装置

说明书

技术领域

本发明普遍涉及油墨干燥装置，更特定地涉及以防止颗粒的侵入为目的而具备用于提高干燥炉内部压力的送风机的油墨干燥装置。

背景技术

关于现有的油墨干燥装置，例如特开平10-213334号公报中公开有以可减少设置面积且抑制循环空气的温度变动为目的的基板处理装置(专利文献1)。在专利文献1中公开的基板处理装置中，在其处理区域一并设有：对基板进行处理液的涂敷处理的旋转式涂敷单元、对基板进行显影处理的旋转式显影单元、对基板进行加热处理的加热单元、以及对基板进行冷却处理的冷却单元。此外，在与处理区域相对的位置设有用于向各单元供给清洁空气的风扇。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平10-213334号公报

发明内容

发明所要解决的问题

已知作为形成液晶显示器的取向膜的方法，实施如下工序，即，使用胶印法等方法在基板的表面上形成聚酰亚胺(PI)膜等的印刷工序、使印刷的聚酰亚胺膜干燥的预干燥工序、以及使聚酰亚胺膜热固化的烧成工序。在用于实施该预干燥工序的油墨干燥装置中，通过设置用于提高干燥炉内部的压力的送风机，防止颗粒从外部侵入，保持基板清洁。

但是，当从送风机向干燥炉内部供给空气时，有可能基板表面局部受风或在基板表面上产生预想不到的气流。该情况下，有可能在基板上的聚酰亚胺膜中产生干燥不均，在得到的取向膜的表面残存风纹那样的图案。这种图案的产生成为使液晶显示器的性能恶化的原因。

于是，本发明的目的在于，解决上述问题，提供实现均匀的油墨干燥的油墨干燥装置。

用于解决问题的方案

按照本发明的油墨干燥装置具备：干燥炉，其中设置涂敷有油墨的基板；送风机，其与基板相对配置，向干燥炉内输送空气；以及冲孔板，其设置于干燥炉内，配置于基板和送风机之间。在冲孔板中形成有空气可流通的多个孔。

根据这样构成的油墨干燥装置，通过在基板和送风机之间配置冲孔板，从送风机供给的空气通过多个孔朝向基板。由此，可以使空气以分散的状态到达基板，结果可以实现均匀的油墨干燥。

此外优选的是，送风机具有通过旋转而压送空气的风扇。在将成为风扇的旋转中心的轴朝向冲孔板延长的情况下，多个孔以如下方式形成：其开口率在相对远离与轴交叉的位置的冲孔板上的区域比在相对接近与轴交叉的位置的冲孔板上的区域大。根据这样构成的油墨干燥装置，由于存在距风扇的旋转中心越远风量越小的倾向，因此，通过在该区域将多个孔的开口率设定得大，可以实现更均匀的油墨干燥。

此外优选的是，多个送风机彼此隔开间隔设置。多个孔以其开口率对应多个送风机各自而变化的方式形成。根据这样构成的油墨干燥装置，可以减少设有多个的送风机每台的风量偏差，能够实现更均匀的油墨干燥。

此外优选的是，冲孔板以划分从送风机输送的空气流入的空间和设置基板的空间的方式设置。根据这样构成的油墨干燥装置，从送风机输送的空气流入的空间朝向设置基板的空间的全部空气都通过多个孔。因此，可以在设置基板的空间中适当控制气流，实现更均匀的油墨干燥。

此外优选的是，冲孔板与设置于干燥炉中的基板平行地延伸。根据这样构成的油墨干燥装置，可对于涂敷于基板的油墨进行更均匀的送风。

此外优选的是，冲孔板配置于送风机和冲孔板之间的距离比冲孔板和设置于干燥炉中的基板之间的距离小的位置。根据这样构成的油墨干燥装置，能够更有效地得到利用冲孔板使空气以分散的状态到达基板的效果。

此外优选的是，在干燥炉内形成有第1空间和第2空间，第1空间设置有基板，第2空间设置有用于使基板上下移动的驱动部，空气可从第1空间流入第2空间。油墨干燥装置还具备与干燥炉连接且从第1空间及第2空间分别排出空气的排气部。第1空间及第2空间的压力设定成：第1空间的压力比第2空间的压力大、第2空间的压力比干燥炉的外部的压力大。根据这样构成的油墨干燥装置，能够更可靠地防止颗粒从外部向第1空间侵入及颗粒从外部通过第2空间向第1空间侵入。

此外优选的是，油墨干燥装置还具备与干燥炉连接且从干燥炉内排出空气的排气部。排气部具有向干燥炉内开口且空气流通的排气口。排气口设置在相对于送风机比设置于干燥炉中的基板远的位置。根据这样构成的油墨干燥装置，可以抑制通过排气口从干燥炉向排气部排出的空气的流动对载置于干燥炉的基板上的气流带来影响。