[发明专利]图案化方法

权利要求书

1.一种方法，其包括(a)提供至少一种具有至少一个主表面的基材；(b)提供至少一种包含至少一种官能化分子的图案化组合物，所述官能化分子为全氟聚醚有机硫化合物；(c)以使得形成所述主表面的至少一个官能化区域和至少一个非官能化区域的方式将所述图案化组合物施加到所述基材的所述主表面；以及(d)蚀刻所述非官能化区域的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述基材包含至少一种无机材料。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述基材包含至少一种元素金属、至少一种金属合金、至少一种含金属化合物或它们的组合。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述基材包含至少一种元素金属。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述基材包含金。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述全氟聚醚有机硫化合物包含至少一个单价或二价的全氟聚醚链段。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述全氟聚醚有机硫化合物包含至少一个含有至少一个二价六氟亚丙氧基基团的全氟聚醚链段。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述全氟聚醚链段选自F[CF(CF₃)CF₂O]_aCF(CF₃)-，其中a的平均值为4至20，和-CF(CF₃)(OCF₂CF(CF₃)_bOCF₂CF₂CF₂CF₂O(CF(CF₃)CF₂O)_cCF(CF₃)-，其中b+c的平均值为4至15。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述全氟聚醚有机硫化合物选自全氟聚醚硫醇化合物、全氟聚醚二硫化物化合物、全氟聚醚黄原酸盐化合物、全氟聚醚硫化物化合物以及它们的组合。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述全氟聚醚有机硫化合物为由以下通式(I)表示的一类全氟聚醚硫醇化合物中的一种：

R_f-[Q-(SH)_x]_y(I)

其中R_f为单价或二价全氟聚醚基团；Q为二价、三价或四价有机连接基团；x为1至3的整数；且y为1或2的整数。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述官能化分子为酰胺连接的全氟聚醚有机硫化合物。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述官能化分子为包含至少两个羰基亚氨基部分或者包含至少一个羰基亚氨基部分和至少一个羰基氧基部分的酰胺连接的全氟聚醚有机硫化合物。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述酰胺连接的全氟聚醚有机硫化合物为包含全氟聚醚链段、至少一个巯基基团和至少一个居间二价羰基亚氨基部分的酰胺连接的全氟聚醚硫醇化合物。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述羰基亚氨基部分为-C(＝O)-NH-。

15.根据权利要求13所述的方法，其中所述酰胺连接的全氟聚醚硫醇化合物为由以下通式(II)表示的一类中的一种：

R_f-[C(＝O)-N(R)-Q-(SH)_x]_y(II)

其中R_f为单价或二价全氟聚醚基团；R为氢或烷基；Q为二价、三价或四价有机连接基团；x为1至3的整数；且y为1或2的整数。