[发明专利]有助于丝网印刷处理的改善的基板支撑材料

权利要求书

1.一种用于在处理期间支撑基板的支撑材料，包括：

非交织材料，包括：顶部区域与底部区域，所述非交织材料具有与所述顶部区域邻近的第一表面、以及第一端与第二端，其中所述顶部区域比起所述底部区域更为低柔性；

多个特征，形成在所述第一表面的区域上，所述区域以一方向延伸于所述第一端与所述第二端间，

其中所述非交织材料在基本垂直于所述第一表面的方向上具有一厚度，以在对与所述材料的第一表面相对的第二表面施加真空时能使空气或其它气体通过。

2.如权利要求1所述的支撑材料，其特征在于，所述底部区域包括合成纤维，且所述顶部区域包括聚合材料。

3.如权利要求1所述的支撑材料，其特征在于，所述顶部区域包括塑料。

4.如权利要求1所述的支撑材料，其特征在于，所述非交织材料是可洗涤的。

5.如权利要求1所述的支撑材料，其特征在于，所述非交织材料是半透明的。

6.如权利要求1所述的支撑材料，其特征在于，所述顶部区域与所述底部区域包括分离的均质层。

7.一种用于处理基板的设备，包括：

材料输送组件，包括：

平台，具有基板支撑表面；

第一材料定位机构，用于对所述基板支撑表面提供支撑材料；

所述支撑材料包括非交织材料，所述非交织材料具有顶部区域与底部区域，其中所述顶部区域比起所述底部区域更为低柔性；以及

第二材料定位机构，用于接收所述支撑材料，所述支撑材料是从所述第一材料定位机构越过至少一部分的基板支撑表面传送来；以及

网印装置，被配置为在基板的表面上沉积材料，所述基板被放置于所述支撑材料的所述顶部区域上，所述支撑材料是位于所述平台上方。

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，进一步包括：

所述支撑材料具有第一表面，所述第一表面上形成有多个特征结构；

一个或多个传感器组件，放置于所述第一表面上方，其中所述一个或多个传感器组件被定位以感测在所述第一表面上形成的所述多个特征的位置变化；以及

控制器，用于从所述一个或多个传感器组件接收信号，并利用耦接至所述第一材料定位机构或所述第二材料定位机构的致动器来控制所述支撑材料在所述基板支撑表面上的位置。

9.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述支撑材料是连续片材，所述连续片材具有耦接至所述第一材料定位机构的一端以及耦接至所述第二材料定位机构的相对端。

10.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述底部区域包括合成纤维，且所述顶部区域包括聚合材料。

11.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述顶部区域包括具有一平坦、平滑表面的塑料。

12.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述非交织材料是半透明的。

13.如权利要求7所述的设备，其特征在于，进一步包括输送器，所述输送器包括至少一个传送带以及输送器致动器，所述输送器致动器与所述至少一个传送带耦接，其中所述输送器被定位以将放置在所述至少一个传送带上的基板传送至所述支撑材料的所述第一表面。

14.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述顶部区域与所述底部区域包括分离的均质层。

15.一种用于处理基板的方法，包括下列步骤：

在非交织支撑材料的第一表面上接收基板，所述非交织支撑材料具有顶部区域与底部区域，其中所述顶部区域与所述第一表面相邻且比起所述底部区域较为低柔性，所述第一表面上形成有多个特征；

跨越基板支撑的表面移动所述支撑材料；

感测通过传感器组件的所述多个特征的移动；以及

至少部分基于从所感测的所述多个特征的移动所接收的数据，控制所述基板在所述基板支撑的表面上的位置。