[发明专利]多层图案的丝网印刷方法及设备

权利要求书

1.一种丝网印刷工艺，包含以下步骤：

接收衬底，所述衬底具有印刷在所述衬底的表面上的第一图案层，其中所述图案包括至少两个对准标记；

相对于所述衬底的至少一个特征，确定所述至少两个对准标记的实际位置；

比较所述至少两个对准标记的所述实际位置与所述至少两个对准标记的预期位置；

确定所述至少两个对准标记的实际位置与预期位置间的偏移；

考量所确定的偏移来调整丝网印刷装置；以及

将第二图案层印刷在所述第一图案层上。

2.如权利要求1所述的丝网印刷工艺，其特征在于，所述图案进一步包含：导电材料线。

3.如权利要求2所述的丝网印刷工艺，其特征在于，所述衬底为多边形且所述至少两个对准标记的每一个印刷在不同的角落区域中。

4.如权利要求1所述的丝网印刷工艺，其特征在于，确定所述对准标记的实际位置的步骤包含以下步骤：摄取所述对准标记的光学图像并识别所述光学图像上的所述对准标记的物理特性。

5.如权利要求4所述的丝网印刷工艺，其特征在于，所述对准标记的预期位置是在印刷所述第一层之前相对于所述衬底的至少一个特征来确定的。

6.如权利要求4所述的丝网印刷工艺，其特征在于，至少三个对准标记印刷在所述衬底的表面上。

7.如权利要求6所述的丝网印刷工艺，其特征在于，比较所述对准标记的实际位置的步骤包含以下步骤：在所述两个对准标记之间构建第一基准线，并在第三对准标记及所述第一基准线之间构建第二基准线，其中所述第二基准线垂直于所述第一基准线。

8.如权利要求6所述的丝网印刷工艺，其特征在于，确定所述偏移的步骤包含以下步骤：测量各个对准标记的实际位置与预期位置间的距离并通过座标转换算法计算所述偏移。

9.一种丝网印刷工艺，包含以下步骤：

以丝网印刷装置将第一图案层印刷在衬底的表面上，其中所述图案包含导电薄线的结构与至少两个对准标记；

在光学检测组件下移动所述衬底；

摄取所述第一图案层的光学图像；

相对于所述衬底的至少一个特征来确定所述至少两个对准标记的实际位置；

比较所述至少两个对准标记的实际位置与所述至少两个对准标记的预期位置；

确定所述实际位置与预期位置间的偏移；

考量所确定的偏移来调整所述丝网印刷装置；以及

通过经调整的丝网印刷装置来将第二图案层印刷在所述第一图案层上。

10.如权利要求9所述的丝网印刷工艺，其特征在于，进一步包含以下步骤：在印刷所述第一层之前，相对于所述衬底的至少一个特征确定所述对准标记的预期位置。

11.如权利要求10所述的丝网印刷工艺，其特征在于，确定所述对准标记的实际位置的步骤包含以下步骤：摄取所述对准标记的光学图像并识别所述光学图像上的所述对准标记的物理特性。

12.如权利要求11所述的丝网印刷工艺，其特征在于，至少三个对准标记印刷在所述衬底的表面上。

13.如权利要求12所述的丝网印刷工艺，其特征在于，比较所述对准标记的实际位置的步骤包含以下步骤：在两个所述对准标记之间构建第一基准线，并在第三对准标记及所述第一基准线之间构建第二基准线，其中所述第二基准线垂直于所述第一基准线。

14.如权利要求11所述的丝网印刷工艺，其特征在于，确定所述偏移的步骤包含以下步骤：量测各个对准标记的实际位置与预期位置间的距离并通过座标转换算法计算所述偏移。