[发明专利]微可动元件阵列及通信设备

权利要求书

1.一种微可动元件阵列，包括：

第一框；

第一可动部列，包含多个第一可动部，所述第一可动部具有第一可动主部并被支撑于所述第一框上；

第二框；以及

第二可动部列，包含多个第二可动部，所述第二可动部具有第二可动主部并被支撑于所述第二框上；

其中，

按照使所述第一可动部列及所述第二可动部列被相对配置的方式，来层叠配置所述第一框及所述第二框，

在所述第一可动部列中配置所述多个第一可动部，使得第一可动主部及空隙被交替配置并且多个第一可动主部被排列在一个方向上，

在所述第二可动部列中配置所述多个第二可动部，使得各第二可动主部与所述第一可动部列的一个所述空隙相对并且多个第二可动主部被排列在所述一个方向上。

2.如权利要求1所述的微可动元件阵列，其中，

所述一个方向上的各第一可动主部的长度、与相邻的第一可动主部间的各空隙在所述一个方向上的长度相等。

3.如权利要求1或2所述的微可动元件阵列，其中，

所述第一可动部在所述第一可动主部中的与第二可动主部侧相反的一侧具有光反射面，所述第二可动部在所述第二可动主部中的第一可动主部侧具有光反射面。

4.如权利要求1至3中任一项所述的微可动元件阵列，其中，

所述第一可动部还具有第一电极部，

所述第二可动部还具有第二电极部，

所述的微可动元件阵列还包括：

第一扭转连结部，连结所述第一框及所述第一可动部，并对所述第一可动部的旋转位移的轴心进行规定；

第二扭转连结部，连结所述第二框及所述第二可动部，并对所述第二可动部的旋转位移的轴心进行规定；

第三电极部，被固定到所述第一框上，用于与所述第一电极部协同工作从而产生使所述第一可动部进行所述旋转位移的驱动力；以及

第四电极部，被固定到所述第二框上，用于与所述第二电极部协同工作从而产生使所述第二可动部进行所述旋转位移的驱动力。

5.如权利要求4所述的微可动元件阵列，其中，

所述第一可动部还包括：

第五电极部；

第一梁部，连结所述第五电极部和所述第一可动主部；

第一可动框部；

第三扭转连结部，连结所述第一可动框部和所述第一梁部并对所述第一可动主部的旋转位移的轴心进行规定；以及

第六电极部，被固定到所述第一可动框上，用于与所述第五电极部协同工作从而产生使所述第一可动主部进行所述旋转位移的驱动力；

所述第二可动部还包括：

第七电极部；

第二梁部，连结所述第七电极部和所述第二可动主部；

第二可动框部；

第四扭转连结部，连结所述第二可动框部和所述第二梁部并对所述第二可动主部的旋转位移的轴心进行规定；以及

第八电极部，被固定到所述第二可动框上，用于与所述第七电极部协同工作从而产生使所述第二可动主部进行所述旋转位移的驱动力。

6.如权利要求5所述的微可动元件阵列，其中，

所述第一可动框部中的沿所述第一可动主部延伸的部位位于所述第一可动主部中的第二可动主部侧，并且在所述一个方向上位于所述第一可动主部的端部之间以内的位置。

7.如权利要求1至6中任一项所述的微可动元件阵列，还包括：

底部；

多个第一间隔器，介于所述第一框及所述第二框之间；以及

多个第二间隔器，介于所述第二框及所述底部之间；

其中，

所述第一框的一部分经由至少一个所述第一间隔器、所述第二框的一部分、以及至少一个所述第二间隔器与所述底部电连接，

所述第二框的其他一部分经由至少一个所述第二间隔器与所述底部电连接。

8.如权利要求1至7中任一项所述的微可动元件阵列，其中，

在所述一个方向上，所述第二可动主部与至少一个所述第一可动主部重合。

9.如权利要求1至8中任一项所述的微可动元件阵列，其中，

每个所述第一可动部具有驱动装置，该驱动装置用于使所述第一可动主部在所述一个方向上进行平移运动。

10.一种通信设备，包括具有多个光反射面的微可动元件阵列，其中，

微可动元件阵列包括：

第一框；

第一可动部列，包含多个第一可动部，该第一可动部具有第一可动主部并被支撑于所述第一框上；

第二框；以及

第二可动部列，包含多个第二可动部，该第二可动部具有第二可动主部并被支撑于所述第二框上；

其中，

按照所述第一可动部列及所述第二可动部列被相对配置的方式，来层叠配置所述第一框及所述第二框，

在所述第一可动部列配置所述多个第一可动部，使得第一可动主部及空隙被交替配置并且多个第一可动主部被排列在一个方向上，

各第一可动部在所述第一可动主体中的与第二可动主体侧相反的一侧具有光反射面，

在所述第二可动部列中配置所述多个第二可动部，使得各第二可动主部与第一可动部列的各所述空隙相对并且多个第二可动主部被排列在所述一个方向上，

各第二可动部在所述第二可动主体中的第一可动主体侧具有光反射面。