[发明专利]在X射线产生中液体金属靶的供应

权利要求书

1.一种用于闭环供应液体金属到相互作用区域的方法(100)，在所述相互作用区域中，电子束撞击所述液体金属以产生X射线，所述方法包括以下步骤：

使用高压泵升高(110)在闭环循环系统的第一部分内的所述液体金属的压强到至少10巴；

引导(112)至少10巴压强的所述液体金属到喷嘴；

从所述喷嘴喷射(116)所述液体金属到真空腔中以产生液体金属喷射流，所述相互作用区域位于所述真空腔中；

在收集容器内收集(118)所喷射的液体金属；

在位于在所述液体金属的流动方向上的所述收集容器和所述高压泵之间的所述闭环循环系统的第二部分内，升高(120)所收集的液体金属的压强到适合于所述高压泵的入口压强，所述入口压强至少是0.1巴；和

重复上面的步骤以实现液体金属到所述相互作用区域的闭环供应。

2.如权利要求1所述的方法，其中使用所述高压泵升高所述压强的所述步骤包括升高所述压强到至少50巴。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述压强被升高到至少100巴。

4.如权利要求1-3的任一项所述的方法，其中所述入口压强至少是0.2巴。

5.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中在所述液体金属喷射流通过所述真空腔从所述喷嘴直到所述电子束要撞击所述液体金属喷射流的位置的传播过程中，所述液体金属喷射流在空间上连续。

6.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中所收集的液体金属被冷却，以去除由所述电子束与所述液体金属喷射流的相互作用产生的过量的热。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述液体金属被冷却到150℃以下的温度。

8.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中喷射所述液体金属进入所述真空腔的所述步骤被执行以便所述液体金属喷射流在通过所述真空腔时具有至少10m/s的传播速度。

9.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中在所述真空腔内的压强低于10^-3毫巴。

10.如以上权利要求的任一项所述的方法，还包括衰减(114)在所述闭环循环系统的所述第一部分内的所述液体金属内的压强脉冲的步骤。

11.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中在所述收集容器内收集所述液体金属的步骤通过让所喷射的液体金属冲击倾斜的表面来执行，以降低来自所述收集容器的由液体金属喷溅、薄雾和诸如此类物导致的对所述真空腔的污染。

12.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中所述液体金属喷射流穿过在所述真空腔和所述收集容器之间的出口内的窄孔。

13.如以上权利要求的任一项所述的方法，还包括在所述液体金属从所述收集容器到所述高压泵的通道上使所述液体金属通过粗过滤器的步骤。

14.如以上权利要求的任一项所述的方法，还包括在所述液体金属从所述高压泵到所述喷嘴的通道上使所述液体金属通过细过滤器的步骤。

15.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中升高所收集的液体金属的压强到所述入口压强的步骤包括使所述高压泵在重力场中的位置低于所述容器。

16.如以上权利要求的任一项所述的方法，其中升高所述收集的液体金属的压强到所述入口压强的步骤包括使用启动泵。