[发明专利]六氯乙硅烷的回收方法及用于该方法的设备

权利要求书

1.六氯乙硅烷的回收方法，具有如下工序：

在700～1400℃范围的温度下，使含有气化的四氯硅烷和氢气的 原料气体发生反应从而得到反应生成气体的工序；

将所述反应生成气体冷却至30～60℃的温度范围从而得到含有 六氯乙硅烷的冷凝液的工序；以及

从所述冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序。

2.如权利要求1所述的六氯乙硅烷的回收方法，通过冷却液的喷 雾进行所述反应生成气体的冷却。

3.如权利要求2所述的六氯乙硅烷的回收方法，所述冷却液为四 氯硅烷和三氯硅烷的混合液。

4.如权利要求3所述的六氯乙硅烷的回收方法，所述冷却液中的 四氯硅烷含量为85～95％摩尔比。

5.如权利要求1所述的六氯乙硅烷的回收方法，通过在60～ 200℃、大气压～0.3MPa(绝对压力)的条件下进行蒸馏，由此，从所述 冷凝液中浓缩回收六氯乙硅烷。

6.如权利要求1所述的六氯乙硅烷的回收方法，包括向所述原料 气体供给从冷却未凝结气体回收的四氯硅烷的工序，所述冷却未凝结 气体是冷却反应生成气体时得到的。

7.如权利要求1所述的六氯乙硅烷的回收方法，包括向所述原料 气体供给从低沸点物回收的四氯硅烷的工序，所述低沸点物是从冷凝 液中浓缩回收六氯乙硅烷时得到的。

8.如权利要求1所述的六氯乙硅烷的回收方法，具有从未蒸发部 分中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序，所述未蒸发部分是 在使四氯硅烷气化时得到的。

9.如权利要求8所述的六氯乙硅烷的回收方法，包括向所述原料 气体供给从低沸点物回收的四氯硅烷的工序，所述低沸点物是在从未 蒸发部分浓缩回收六氯乙硅烷时得到的，所述未蒸发部分是在使四氯 硅烷气化时得到的。

10.六氯乙硅烷的回收设备，具有如下装置：

反应炉，用于在700～1400℃范围的温度下，使含有气化的四氯 硅烷和氢气的原料气体发生反应从而得到反应生成气体；

急冷塔，用于将所述反应生成气体冷却至30～60℃的温度范围从 而得到含有六氯乙硅烷的冷凝液；以及

浓缩塔，用于从所述冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点 物。

11.如权利要求10所述的六氯乙硅烷的回收设备，具有喷雾装置， 用于通过冷却液的喷雾进行所述反应生成气体的冷却。

12.如权利要求10所述的六氯乙硅烷的回收设备，具有向所述原 料气体供给从冷却未凝结气体回收的四氯硅烷的装置，所述冷却未凝 结气体是在冷却反应生成气体时得到的。

13.如权利要求10所述的六氯乙烷的回收设备，具有向所述原料 气体供给从低沸点物回收的四氯硅烷的装置，所述低沸点物是从冷凝 液浓缩回收六氯乙硅烷时得到的。

14.如权利要求10所述的六氯乙硅烷的回收设备，具有向所述浓 缩塔供给在使四氯硅烷气化时得到的未蒸发部分的装置，在所述浓缩 塔中，还从未蒸发部分中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物。

15.如权利要求14所述的六氯乙硅烷的回收设备，具有向所述原 料气体供给从低沸点物回收的四氯硅烷的装置，所述低沸点物是在从 未蒸发部分浓缩回收六氯乙硅烷时得到的，所述未蒸发部分是在使四 氯硅烷气化时得到的。