[发明专利]用于微光刻的照明光学系统与光学系统

权利要求书

1.一种用于微光刻的照明光学系统(11；30；32)，用于照明物场(12)，

-具有第一传输光学系统(4)，用于引导从光源(2)发出的照明光(3)；

-具有照明预设分面镜(7)，其在所述第一传输光学系统(4)的下游且具有多个照明预设微面(25)，所述照明预设分面镜(7)通过所述照明预设分面镜(7)的能被照明的边缘形状(24)、以及所述照明预设微面(25)的各个独立倾斜角，而产生所述物场(12)的预设照明；

其特征在于：将所述第一传输光学系统(4)和所述照明预设分面镜(7)布置为产生所述物场(12)的远心照明。

2.如权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于：在光源布置(2、5)和所述物场(12)之间最多具有三个反射组件(6、7；6、7、34)。

3.如权利要求1或2所述的照明光学系统，其特征在于：所述第一传输光学系统(4)具有传输分面镜(6)，在所述照明光(3)的光束路径中所述传输分面镜(6)被布置在所述照明预设分面镜(7)的上游且具有多个传输微面(21；38)，所述传输微面(21；38)被取向，使得照明所述照明预设分面镜，所述预设边缘形状(24)与所述物场(12)的形状适配，且对于所述照明预设微面(25)预设分配。

4.如权利要求3所述的照明光学系统，其特征在于：将所述传输微面(21；38)分组为多个传输微面组(22；39)，其中所述传输微面组(22；39)之一分别引导照明光，用于所述物场(12)的完全照明。

5.如权利要求4所述的照明光学系统，其特征在于：所述传输微面组(22；39)具有组边缘形状，其在几何形状上与所述物场(12)的边缘形状(12a)相似。

6.如权利要求4或5所述的照明光学系统，其特征在于：形成传输微面组(22；39)的所述传输微面(21；38)布置为多个列，在每个所述列中，在列方向(y)上连续地布置多个传输微面(21；38)。

7.如权利要求6所述的照明光学系统，其特征在于：相邻列(S1、S2)具有沿着所述列方向(y)相对于彼此偏移布置的传输微面(21)。

8.如权利要求3至7中的任一项所述的照明光学系统，其特征在于：所述传输微面(38)彼此分离间隙(41)，所述间隙相对于所述列方向(y)以非零的角度延伸。

9.如权利要求1至8中的任一项所述的照明光学系统，其特征在于：所述照明预设分面镜(7)具有通孔(31)，在所述光源(2)与所述传输分面镜(6)之间引导所述照明光(3)通过所述通孔。

10.一种光学系统，具有如权利要求1至9中的任一项所述的照明光学系统，并且具有用于将所述物场(12)成像在像场(17)中的投射光学系统(10；33；36)。

11.一种光学系统，

-具有用于微光刻的照明光学系统(35)，用于照明物场(12)；

-具有第一传输光学系统(4)，用于引导从光源(2)发出的照明光(3)；

-具有照明预设分面镜(7)，其布置在所述第一传输光学系统(4)的下游且具有多个照明预设微面(25)，所述照明预设分面镜(7)通过所述照明预设分面镜(7)的能被照明的边缘形状(24)、以及所述照明预设微面(25)的各个独立倾斜角，而产生所述物场(12)的预设照明；

-具有投射光学系统(36)，用于将所述物场(12)成像在像场(17)中；

其特征在于：

-所述投射光学系统(36)的入瞳(37)布置在所述照明预设分面镜(7)与所述物场(12)之间或在所述物场(12)之后；

-其中所述第一传输光学系统(4)和所述照明预设分面镜(7)被布置为使得所述物场(12)的照明与所述投射光学系统(36)的所述入瞳适配。

12.如权利要求11的光学系统，其特征在于：所述入瞳(37)距所述物场(12)的间隔、与所述物场(2)距所述照明预设分面镜(7)的间隔之间的比小于0.9。