[发明专利]电解电容器用铝电极板的制造方法和制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及对铝板进行交流蚀刻而制造电解电容器用铝电极板的方法和制造装置。

背景技术

在通过交流蚀刻制造用于铝电解电容器的铝电极时，原理上，在配置于蚀刻液中的两个电极之间配置铝箔，并且在两个电极之间施加交流电流(参照非专利文献1)。

非专利文献1：永田伊左也、“电解液负极铝电解电容器”、日本蓄电器工业株式会社，平成9年2月24日，第二版，p.226-227

发明内容

发明要解决的问题

但是，在非专利文献1记载的方法中，由于只有两个电极，因此只能对一个铝箔进行蚀刻，存在生产性极其低下的问题点。

此处，本申请发明者以提高生产性为目的，如图7(a)所示，已经提出在三个以上的电极20x中各彼此相对的电极20x之间配置铝箔10x，对三个以上的电极20x全部施加交流电流。

但是，为了对三个以上的电极20x全部施加交流电流，需要对所有电极20x进行配线连接，因此存在装置构成复杂化这样的问题点。此外，当在所有电极20x上连接有配线时，存在进行电极20x的更换等维修时花费大量的工时这样的问题点。进而，也存在当向各电极20x的配线电阻等的平衡崩溃时，对铝箔10x的蚀刻电流密度发生变动的问题点。

鉴于以上的问题点，本发明的课题在于提供一种能够实现装置构成的简单化并且能够在任何电极间进行稳定的蚀刻的电解电容器用铝电极板的制造方法及制造装置。

为了解决上述课题，在本发明中，提供一种在贮存于蚀刻槽内的蚀刻液中对铝板进行交流蚀刻的电解电容器用铝电极板的制造方法，其特征在于：在上述蚀刻液中以相对的方式配置三个以上的电极，在上述三个以上的电极中彼此相对的各电极之间配置上述铝板，对上述三个以上的电极中配置于两端的电极间施加交流电流来对上述铝板的两面进行交流蚀刻。

此外，在本发明中，提供一种在贮存于蚀刻槽内的蚀刻液中对铝板进行交流蚀刻电解电容器用铝电极板的制造装置，其特征在于，具有：在上述蚀刻液中以相对的方式配置的三个以上的电极、和在上述三个以上的电极中配置于两端的电极间施加交流电流的电源装置，在上述三个以上的电极中各彼此相对的电极间配置上述铝板。

在本发明中，在蚀刻液中以相对的方式配置三个以上的电极，并且，在三个以上的电极中彼此相对的各电极之间配置铝板，对在三个以上的电极中配置于两端的电极间施加交流电流。其结果是，铝板的两面被蚀刻。此时，对三个以上的电极中配置于两端的电极以外的电极、和配置于各电极间的铝板，也可以不进行供电。因此，仅对一部分电极进行配线连接即可等，能够简化装置构成。此外，由于仅对一部分电极进行配线连接即可，所以在进行电极更换等维修时无需花费很多时间。进而，由于仅对一部分电极进行配线连接即可，所以不会发生向各电极的配线电阻等的平衡崩溃之类的事态。因此，能够在对铝板的蚀刻电流密度等稳定的状态下进行蚀刻。

在本发明中，优选在上述蚀刻槽中设置堵塞该蚀刻槽的内壁与上述电极之间的电极用屏蔽部和堵塞该蚀刻槽的内壁与上述铝板之间的铝板用屏蔽部。根据这种构成，能够防止在多个蚀刻腔之间经由蚀刻液互相产生电方面的影响。

在该情况下，优选上述电极用屏蔽部由被插入上述电极的端部的电极保持用缝隙构成，并且上述铝板用屏蔽部由被插入上述铝板的端部的铝板保持用缝隙构成。即，优选利用上述电极用屏蔽部保持电极的端部，并且利用上述铝板用屏蔽部保持上述铝板的端部。

在本发明中，优选在上述蚀刻槽中设置多个蚀刻液供给口，其向每个由上述电极和上述铝板划分而成的多个蚀刻腔供给上述蚀刻液。若这样构成，则能够防止在多个蚀刻腔之间经由蚀刻液互相产生电方面的影响。

在本发明中，优选上述多个蚀刻液供给口与公用的蚀刻液供给路径连通。这样构成时，即使是设置了多个蚀刻液供给口的情况下，也能够简化用于供给蚀刻液的构成。

在本发明中，优选上述多个蚀刻液供给口在上述蚀刻槽的壁面开口，在上述蚀刻槽中相对上述蚀刻液供给口开口的上述内壁与配置所述电极的一侧的相反侧划分形成有上述蚀刻液供给路径。这样构成时，即使是设置了多个蚀刻液供给口的情况下，也能够简化蚀刻液供给路径的构成。

在本发明中，优选上述多个蚀刻液供给口在上述蚀刻槽的壁面中的底壁开口。根据这种构成，由于能够在蚀刻腔内高效地进行蚀刻液的搅拌，所以能够使在蚀刻腔内的蚀刻液的组成和温度均匀化。