[发明专利]干涉显微镜和测定装置

权利要求书

1.一种干涉显微镜，其特征在于，使用将具有有限的相干长度的光束一分为二而照射到试样和参照镜的双光束干涉仪来观察并检查试样表面的微细的凹凸和内部的高度信息，

具有将波长和相干长度不同的来自两个光源的光束重合到同一轴上且整形为线光束之后射出的第一单元和对重合的两个光源光束进行分割的第二单元，设置通过第二单元向参照镜引导和照射两个光源光束且仅在线方向成像的参照光路、向试样成像和照射两个光源光束的光源像的聚光单元、会聚来自试样的微细的反射、散射光而转换为光束并进行引导的测定光路，具有在同一个检测单元中接收来自参照光路的反射光和来自测定光路的测定光的检测光路，通过在参照光路设置微小量的倾斜的光程差，在来自参照镜和试样的光束重合的位置形成具有试样面的线方向的高度分布情况的干涉条纹分布，由此无需进行试样和参照镜之间的相对距离的移动或根据波长扫描的干涉条纹的移动，即获得高度分布信息。

2.如权利要求1所述的干涉显微镜，其特征在于，线光束由以线状发光的器件发出。

3.如权利要求1所述的干涉显微镜，其特征在于，线光束由以面状发光的器件发出。

4.如权利要求1所述的干涉显微镜，其特征在于，线光束为将点光源排列成直线状。

5.如权利要求1所述的干涉显微镜，其特征在于，线光束使用通过非对称光学系统将点光源整形为椭圆或线状的光束。

6.如权利要求1所述的干涉显微镜，其特征在于，线光束为使用衍射光学器件或多重反射板将点光源或线光源连续地排列的线状图案。

7.如权利要求1至6中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，参照光路和测定光路分别由不同的光学系统构成，且具有补偿与测定光路的视场角偏移和因波长分散引起的光程长之差的单元。

8.如权利要求1至7中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，参照光路和测定光路中的至少一个或两个为光纤等光波导器件。

9.如权利要求1至8中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，两个光源的波长为可在同一光学系统和检测单元利用的波长范围。

10.如权利要求1至9中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，将半导体激光器、发光二极管或超辐射发光二极管设为光源。

11.如权利要求1至9中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，半导体激光器被用于进行发光二极管性发光或超辐射发光二极管性发光。

12.如权利要求1至11中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，两个光源中的至少一个为以单一波长振荡的激光光源。

13.如权利要求1至12中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，两个光源中的至少一个为，在驱动部具有切换功能且可以具有以单一波长振荡的激光光源和波长宽度较大的低相干光源的两种使用方法的光源。

14.如权利要求1至13中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，两个光源同时进行照射。

15.如权利要求1至14中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，两个光源具有切换功能，可交互地点亮和熄灭。

16.如权利要求1至15中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，参照镜以固定方式发生倾斜。

17.如权利要求1至16中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，参照镜以摆动方式发生倾斜。

18.如权利要求1至14中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，作为参照镜使用具有一定的阶梯差的阶梯状镜子。

19.如权利要求1至18中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，作为干涉仪使用迈克尔逊干涉仪或林尼克干涉仪。

20.如权利要求1至19中任意一项所述的干涉显微镜，其特征在于，具有测定光路中的光束扫描单元或试样台的移动单元，能够进行试样的一维方向的依序线照射。