[发明专利]作为疏水性涂层的功能化全氟聚醚材料

权利要求书

1.一种疏水性光致抗蚀剂材料用制剂，其含有功能化全氟聚醚。

2.根据权利要求1所述的制剂，其中用酸介导的可聚合官能团、可自由基聚合的官能团、酸敏基团或其任意组合，使所述全氟聚醚功能化。

3.根据权利要求2所述的制剂，其中酸介导的官能团为环氧部分、氧杂环丁烷部分，或其任意组合；所述可自由基聚合的官能团为丙烯酸酯部分、甲基丙烯酸酯部分，或其任意组合；所述酸敏基团为叔丁氧基羰基部分。

4.根据权利要求1所述的制剂，其中用与光引发剂反应的官能基使所述全氟聚醚功能化，其中所述反应改变了所述全氟聚醚的溶解性。

5.根据权利要求4所述的制剂，其中所述反应提高了所述全氟聚醚的溶解性。

6.根据权利要求4所述的制剂，其中所述反应降低了所述全氟聚醚的溶解性。

7.根据权利要求1、2或4所述的制剂，还含有光引发剂。

8.根据权利要求1、2或4所述的制剂，还含有光引发剂，和助溶剂、增容剂、敏化剂或其任意组合。

9.一种制备疏水性光致抗蚀剂材料的方法，其包括以下步骤：

a. 向全氟聚醚中加入官能团以使所述全氟聚醚功能化;

b. 将含有功能化全氟聚醚的制剂施用至至少一部分的基底上；以及

c. 使所述功能化全氟聚醚制剂所施用的基底暴露于能源。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述基底具有至少一个暴露区域和至少一个未暴露区域，并且包括用显影溶剂移除所述基底上的至少一个暴露区域的步骤。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述基底具有至少一个暴露区域和至少一个未暴露区域，并且包括用显影溶剂移除所述基底上的至少一个未暴露区域的步骤。

12.根据权利要求9所述的方法，还包括使所述功能化全氟聚醚与光引发剂混合以形成功能化全氟聚醚制剂的步骤，并且其中所述能源能够活化所述制剂中的光引发剂。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述官能团能够通过电离辐射活化。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述能源包括电离辐射。

15.一种用疏水性光致抗蚀剂材料涂布喷墨印刷头表面的方法，其包括以下步骤：

a. 将含有功能化全氟聚醚和光引发剂的组合物施用至印刷头区域；

b. 使印刷头表面区域暴露于电磁辐射；

c. 使施用至所述印刷头区域的所述功能化全氟聚醚热交联；以及

d. 使所述印刷头上的未暴露或暴露区域显影。