[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，具备：

光电变换层，将光变换为电；以及

反射电极，设置于所述光电变换层的与光入射侧相反的一侧而将通过了所述光电变换层的光反射到所述光电变换层侧，

该太阳能电池的特征在于，

所述反射电极在所述光电变换层侧具有以银为主成分并含有氮而成的金属层。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，

在所述反射电极的所述光电变换层侧，以50nm以上的厚度形成了所述金属层。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，

所述金属层中的氮的含有率是0.5at％以上且5at％以下。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，

在所述金属层中，作为添加成分包含从镁、钛、铬、铜、钼、钯、铂以及金中选择的1种以上的元素。

5.一种太阳能电池的制造方法，该太阳能电池具备：

光电变换层，将光变换为电；以及

反射电极，设置于所述光电变换层的与光入射侧相反的一侧而将通过了所述光电变换层的光反射到所述光电变换层侧，

该太阳能电池的制造方法的特征在于，包括：

光电变换层工序，形成所述光电变换层；以及

反射电极形成工序，在所述光电变换层的与光入射侧相反的一侧，形成在所述光电变换层侧具有以银为主成分并含有氮而成的金属层的反射电极。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述反射电极形成工序中，在所述反射电极的所述光电变换层侧，以50nm以上的厚度形成所述金属层。

7.根据权利要求5所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述反射电极形成工序具有金属层形成工序，在该金属层形成工序中，在氮气的等离子体气氛下在所述光电变换层上堆积银(Ag)而形成所述金属层。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述金属层形成工序中，一边供给含有氮气的气体一边通过使用了以银(Ag)为主成分的靶的喷溅法形成所述金属层。

9.根据权利要求5所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

具有对所述金属层进行退火的工序。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在200℃～300℃的温度下对所述金属层进行退火。