[发明专利]探针装置及测试装置

权利要求书

1.一种探针装置，是与对象器件之间传送信号的探针装置，其具备：

接触部，其通过与所述对象器件的端子接触，而电连接于所述对象器件；

非接触部，其以与所述对象器件的端子不接触的状态，与所述对象器件传送信号；以及

保持部，其在连结所述非接触部和所述对象器件的对应区域的连接方向，可改变所述接触部和所述非接触部的相对位置地保持所述接触部和所述非接触部。

2.如权利要求1所述的探针装置，其中：

所述保持部具有薄膜部，该薄膜部根据应力的施加，至少一部分区域向所述连接方向扩展，且若所述应力的施加消失，则恢复成被施加所述应力之前的形状。

3.如权利要求2所述的探针装置，其中：

所述探针装置，对在晶片上形成的多个所述对象器件，并行地传送信号，

所述薄膜部，具有与形成有所述对象器件的所述晶片的面大致相同的形状。

4.如权利要求3所述的探针装置，其中：

所述保持部还具有固定部，该固定部，固定所述薄膜部的周边部，配置于与所述晶片相对的位置。

5.如权利要求4所述的探针装置，其中：

所述固定部，以向面方向赋予张力的状态，固定所述薄膜部。

6.如权利要求5所述的探针装置，其中还具备：

测试基板，其产生要输入至所述对象器件中的信号，并经由所述薄膜部，与所述对象器件传送信号；以及

导电性橡胶，其设在所述薄膜部与所述测试基板之间。

7.如权利要求4所述的探针装置，其中：

在设置有所述非接触部的所述薄膜部的区域，还具备向所述连接方向施加应力的应力施加部。

8.如权利要求7所述的探针装置，其中还具备：

测试基板，其产生要输入至所述对象器件中的信号，并经由所述薄膜部，与所述对象器件传送信号；以及

连接部，其电连接所述接触部和所述测试基板；

所述应力施加部，延伸至比所述连接部更靠近所述对象器件的位置，而接触设置有所述非接触部的所述薄膜部的区域。

9.如权利要求4-8中的任一项所述的探针装置，其中具备电场耦合部，其作为所述非接触部，在所述薄膜部中的所述对象器件侧的面，与所述对象器件电场耦合。

10.如权利要求第4-8中的任一项所述的探针装置，其中，作为所述非接触部，在所述薄膜部的不同面上，具备：

与所述对象器件电场耦合的电场耦合部；以及

与所述对象器件磁场耦合的磁场耦合部。

11.如权利要求10所述的探针装置，其中：

所述非接触部，在所述薄膜部中的所述对象器件侧的面，具有所述电场耦合部，而在所述薄膜部中的所述对象器件的相反侧的面，具有所述磁场耦合部。

12.如权利要求4-11中的任一项所述的探针装置，其中：

所述非接触部，设在所述薄膜部中的所述对象器件侧的面；

所述薄膜部，具有：

配线，其设在所述对象器件侧的面，且电连接至所述非接触部；

电极，其被设在与所述对象器件相反侧的面；以及

贯通配线，其被设置成从所述对象器件侧的面，贯通至与所述对象器件相反侧的面，而电连接所述配线和所述电极。

13.一种测试装置，是用于测试对象器件的测试装置，其具备：

权利要求1-12中的任一项所述的探针装置，其与所述对象装置传送信号；以及

根据所述探针装置从所述对象器件接收的响应信号，来判断所述对象器件的好坏的判定部。