[发明专利]涡轮分子泵及转子的制造方法

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，其特征在于，

该涡轮分子泵包括：

转子，其形成有多层旋转叶轮；

多层固定叶轮；

泵壳体，其用于容纳上述转子及上述多层固定叶轮，且该泵壳体形成有泵进气口；

将上述转子的面向上述进气口的表面设为第1辐射系数，

将由上述旋转叶轮及固定叶轮构成的多个叶轮层内的、能够从上述进气口看到的叶轮层表面设为上述第1辐射系数，

将上述多个叶轮层内的、未能从上述进气口看到的叶轮层表面设为大于上述第1辐射系数的第2辐射系数。

2.一种涡轮分子泵，其特征在于，

该涡轮分子泵包括：

转子，其形成有多层旋转叶轮；

多层固定叶轮；

泵壳体，其用于容纳上述转子及上述多层固定叶轮，且该泵壳体形成有泵进气口；

将上述转子的面向上述进气口的表面设为第1辐射系数，

将上述旋转叶轮及固定叶轮的、至少包括能够从上述进气口看到的区域的表面区域设为第1辐射系数，

将上述旋转叶轮及固定叶轮的、面向与上述进气口相反方向的背面侧设为大于上述第1辐射系数的第2辐射系数。

3.一种涡轮分子泵，其特征在于，

该涡轮分子泵包括：

转子，其形成有多层旋转叶轮；

多层固定叶轮；

泵壳体，其用于容纳上述转子及上述多层固定叶轮，且该泵壳体形成有泵进气口；

将上述转子的面向上述进气口的表面和上述旋转叶轮及固定叶轮的面向上述进气口侧的表面侧设为第1辐射系数，

将上述旋转叶轮及固定叶轮的、面向与上述进气口相反方向的背面侧设为大于上述第1辐射系数的第2辐射系数。

4.根据权利要求2或3所述的涡轮分子泵，其特征在于，

将由上述旋转叶轮及固定叶轮构成的多个叶轮层内的、未能从上述进气口看到的叶轮层的表面设为上述第2辐射系数。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，

在比上述多层旋转叶轮靠排气下游侧还具有与上述转子一体形成的圆筒状的螺旋转子和与上述螺旋转子的外周面相对设置的圆筒状的螺旋定子，

将上述螺旋转子及螺旋定子的表面内的、至少彼此的相对面设为上述第2辐射系数。

6.根据权利要求5所述的涡轮分子泵，其特征在于，

将上述螺纹转子的圆筒内表面和包括与该圆筒内表面相对的表面的泵基座面设为上述第2辐射系数。

7.根据权利要求6所述的涡轮分子泵，其特征在于，

利用铝材形成上述转子、固定叶轮、螺旋定子及泵基座，

通过使上述铝材的母材暴露而设为上述第1辐射系数，

通过对上述铝材的表面实施铝阳极化处理或无电解镀黑镍处理而设为上述第2辐射系数。

8.根据权利要求6所述的涡轮分子泵，其特征在于，

利用铝材形成上述转子、固定叶轮、螺旋定子及泵基座，

对铝材的表面依次实施无电解镀镍处理及无电解镀黑镍处理，将上述转子及旋转叶轮的表面设为上述第2辐射系数，

对铝材的表面实施无电解镀镍处理，将上述旋转叶轮的表面设为上述第1辐射系数，

通过使上述铝材的母材暴露，将上述固定叶轮的表面设为上述第1辐射系数，

通过对上述铝材的表面实施铝阳极化处理或无电解镀黑镍处理，将上述固定叶轮、螺旋定子及泵基座的表面设为上述第2辐射系数。

9.一种转子的制造方法，其特征在于，

该转子用于权利要求8所述的涡轮分子泵，该转子的制造方法具有：

对由铝材形成的转子的表面实施无电解镀镍处理的第1工序；

对形成在上述转子上的无电解镀镍的上表面实施无电解镀黑镍的第2工序；

在上述第2工序之后对上述第1区域所包含的上述转子的表面实施喷砂处理而使上述无电解镀镍暴露的第3工序；

将暴露上述无电解镀镍的表面设为上述第1辐射系数的表面，将暴露上述无电解镀黑镍的表面设为上述第2辐射系数的表面。