[发明专利]硬质被膜及硬质被膜被覆工具

权利要求书

1.一种硬质被膜，其是设置于规定部件的表面上的耐磨性及耐热性优异的硬质被膜，其特征在于，

具备由Al_aCr_b(SiC)_cα_dN〔其中，α是元素周期表的IVa族、Va族、VIa族(除Cr外)、B、C、Si、Y中的一种以上的元素，a、b、c、d按照原子比计分别为0.35≤a≤0.76、0.12≤b≤0.43、0.05≤c≤0.20、0≤d≤0.20的范围内，且Cr与Al的原子比的比例b/a在0.25≤b/a≤0.67的范围内，为富铝，a+b+c+d＝1〕构成的、设置于最表面的第一被膜，

并且，总膜厚T_总为0.5～15μm的范围内，所述第一被膜的膜厚T1、或在具备具有与该第一被膜相同的被膜成分的其它被膜部分时，包含该其它被膜部分的膜厚为总膜厚T_总的20％以上。

2.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，所述第一被膜直接设置于所述规定部件的表面上，且只由该第一被膜构成，该第一被膜的膜厚T1为总膜厚T_总。

3.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，在所述规定部件和所述第一被膜之间、且在该规定部件的表面上，设有由Ti_eAl_fCr_gβ_hN〔其中，β是元素周期表的IVa族、Va族、VIa族(除Ti、Cr外)、B、C、Si、Y中的一种以上的元素，e、f、g、h按照原子比计分别为0≤e≤0.64、0.32≤f≤0.81、0≤g≤0.40、0≤h≤0.20的范围内，且e和g不同时为0，e+f+g+h＝1〕构成的第二被膜。

4.权利要求3所述的硬质被膜，其特征在于，所述第一被膜直接设置于所述第二被膜上，且只由该第一被膜及该第二被膜构成，所述第一被膜的膜厚T1为总膜厚T_总的20％以上。

5.权利要求3所述的硬质被膜，其特征在于，在所述第一被膜和所述第二被膜之间设有中间层，所述中间层由交替层叠有与该第一被膜及该第二被膜相同被膜成分的被膜的交替层或混合有该第一被膜及该第二被膜的被膜成分的混合层构成。

6.一种硬质被膜被覆工具，其特征在于，用权利要求1～5中任一项所述的硬质被膜被覆工具母材的表面。