[发明专利]差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置

权利要求书

1.差动共焦镜组轴向间隙测量方法，其特征在于：

(a)首先，调整被测镜组，使其与差动共焦测头共光轴；

(b)然后，出射差动共焦光锥的差动共焦测头沿光轴方向扫描移动，差动共焦系统通过探测差动响应信号的绝对零点值来确定差动共焦光锥顶点与被测镜组内透镜表面顶点相重合，依次记录各重合点处差动共焦测头的位置坐标z₁，z₂，…，z_m，m为镜组内透镜的总透光面数；

(c)根据已知参数：差动共焦光锥的数值孔径角α₀、被测镜组内多个单片透镜的曲率半径r₁～r_m、折射率n₀～n_n和差动共焦测头的位置坐标z₁～z_n+1，可由光线追迹递推公式：

αn′=αn-1′+arcsin(ln-1′-dn-1-rnrn·sinαn-1′)-arcsin(nn-1nn·ln-1′-dn-1-rnrn·sinαn-1′)ln′=rn+nn-1nn·sinαn-1′sinαn′·(ln-1′-dn-1-rn)]]>

n＝1，2，…m-1

得到镜组内第n个透光表面与第n+1个透光表面之间的轴向间隙d_n＝l_n′；其中初始参数：α₀′＝α₀，l₀′＝|z_n+1-z₁|，d₀＝0。

2.根据权利要求1所述的差动共焦镜组轴向间隙测量方法，其特征在于：利用环形光瞳遮挡近轴光线，形成空心的测量光锥，削减像差对测量结果的影响。