[发明专利]差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置

权利要求书

1.差动共焦透镜中心厚度测量方法，其特征在于：

(a)首先，调整被测透镜，使其与差动共焦测头共光轴；

(b)然后，出射差动共焦光锥的差动共焦测头沿光轴方向扫描移动，差动共焦系统通过探测差动响应信号的绝对零点值来确定差动共焦光锥顶点与被测透镜前表面顶点相重合，此时差动共焦测头的位置坐标为z₁；

(c)将差动共焦测头继续沿光轴方向扫描移动，再次利用差动响应信号的绝对零点值来确定差动共焦光锥顶点与被测透镜的后表面顶点相重合，此时差动共焦测头的位置为z₂；

(d)根据已知参数：差动共焦光锥的数值孔径角α₀、被测透镜前表面的曲率半径r₁、空气折射率n₀、被测透镜折射率n和差动共焦测头两次定位的移动量l＝|z₂-z₁|，可由以下公式：

d=r1+n0n·sinα0sin[α0+arcsin(l-r1r1·sinα0)-arcsin(n0n·l-r1r1·sinα0)]·(l-r1)]]>

计算得到被测透镜的中心厚度d。

2.根据权利要求1所述的差动共焦透镜中心厚度测量方法，其特征在于：利用环形光瞳遮挡近轴光线，形成空心的测量光锥，削减像差对测量结果的影响。