[发明专利]基于MEMS技术的可调带通滤波器无效

专利信息
申请号: 201010000943.6 申请日: 2010-01-21
公开(公告)号: CN101777677A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 邓中亮;张乃柏;黄建明;韩柯 申请(专利权)人: 北京邮电大学
主分类号: H01P1/20 分类号: H01P1/20;B81B7/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100876北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 mems 技术 可调 带通滤波器
【权利要求书】:

1.基于MEMS(微电子机械系统)技术的可调带通滤波器结构,包括共面波导结构,MEMS开关,其特征在于共面波导信号线(1)的中间部位(3)被切断;在信号线部位(3)上方加载MEMS开关(9);MEMS开关高度(6)通过加载在信号线和地之间的直流电压不同来调节。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于信号线的厚度(4)与地的厚度(11)不相等;MEMS开关高度(6)与尺寸(5)的比值和MEMS开关(6)高度调节有关联,比值不大于0.5时可以使MEMS开关高度(6)全程可控,比值大于0.5时MEMS开关高度(6)不可全程可控;。

3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于MEMS开关(9)跨接于信号线两边的地上,其中一端直接接地,另一端通过介质(8)与地隔离绝缘。

4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于MEMS开关(9)的面积大于信号线中间部位切断部分的面积,且MEMS开关(9)对地覆盖的面积大于对信号线(1)和对衬底(10)的覆盖面积之和。

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