[发明专利]基于MEMS技术的可调带通滤波器无效
申请号: | 201010000943.6 | 申请日: | 2010-01-21 |
公开(公告)号: | CN101777677A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 邓中亮;张乃柏;黄建明;韩柯 | 申请(专利权)人: | 北京邮电大学 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20;B81B7/02 |
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地址: | 100876北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 mems 技术 可调 带通滤波器 | ||
1.基于MEMS(微电子机械系统)技术的可调带通滤波器结构,包括共面波导结构,MEMS开关,其特征在于共面波导信号线(1)的中间部位(3)被切断;在信号线部位(3)上方加载MEMS开关(9);MEMS开关高度(6)通过加载在信号线和地之间的直流电压不同来调节。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于信号线的厚度(4)与地的厚度(11)不相等;MEMS开关高度(6)与尺寸(5)的比值和MEMS开关(6)高度调节有关联,比值不大于0.5时可以使MEMS开关高度(6)全程可控,比值大于0.5时MEMS开关高度(6)不可全程可控;。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于MEMS开关(9)跨接于信号线两边的地上,其中一端直接接地,另一端通过介质(8)与地隔离绝缘。
4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的可调带通滤波器结构,其特征在于MEMS开关(9)的面积大于信号线中间部位切断部分的面积,且MEMS开关(9)对地覆盖的面积大于对信号线(1)和对衬底(10)的覆盖面积之和。
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