[发明专利]振动校正设备和成像装置

权利要求书

1.一种成像装置，包含：

第一驱动部件，用于在第一方向上驱动成像组件，该成像组件与成像光 学系统或成像设备有关；

第二驱动部件，用于在垂直于第一方向的第二方向上驱动成像组件；以 及

控制部件，用于基于成像装置的振动的检测结果，使用第一和第二驱动 部件，通过驱动成像组件校正成像装置的振动，该检测结果由振动检测部件 得到，并且包括成像组件的第一方向上距离参考位置的偏离量和第二方向上 距离参考位置的偏离量，

其中当在预定的定时将成像组件返回到参考位置时，控制部件顺序地执 行使用第一驱动部件在第一方向上的第一返回处理、以及使用第二驱动部件 在第二方向上的第二返回处理，

其中控制部件将第一返回处理和第二返回处理以该顺序执行，并且在执 行第一和第二返回处理之前，使用第二驱动部件在第二方向上执行预备返回 处理。

2.根据权利要求1所述的成像装置，

其中在第二返回处理的开始，当在成像组件的第二方向上从参考位置的 偏离量落在第一允许范围内时，控制部件结束第二返回处理而不开始第二驱 动部件的驱动操作，而当在成像组件的第二方向上从参考位置的偏离量超过 第一允许范围时，开始第二驱动部件的驱动操作，

在预备返回处理的开始，当在成像组件的第二方向上从参考位置的偏离 量落在第二允许范围内时，控制部件结束预备返回处理而不开始第二驱动部 件的驱动操作，而当在成像组件的第二方向上从参考位置的偏离量超过第二 允许范围时，开始第二驱动部件的驱动操作，以及

第二允许范围比第一允许范围更宽。

3.根据权利要求1所述的成像装置，

其中在第二返回处理中已经开始第二驱动部件的驱动操作之后，当在预 定的多个时间点处确定在成像组件的第二方向上从参考位置的偏离量落在第 一允许范围内时，控制部件停止第二驱动部件的驱动操作，以及

在预备返回处理中已经开始第二驱动部件的驱动操作之后，当确定在成 像组件的第二方向上从参考位置的偏离量落在第二允许范围内时，控制部件 停止第二驱动部件的驱动操作。

4.根据权利要求1所述的成像装置，

其中控制部件基于预定的标准选择第一控制方法和第二控制方法之一， 并且执行选择的控制方法，在该第一控制方法中，使用第二驱动部件在第二 方向上的预备返回处理、第一返回处理和第二返回处理以这个顺序执行，在 该第二控制方法中，使用第一驱动部件在第一方向上的预备返回处理、第二 返回处理和第一返回处理以这个顺序执行。

5.根据权利要求4所述的成像装置，

其中在将成像组件返回到参考位置的操作的开始，当在成像组件的第二 方向上从参考位置的偏离量小于在成像组件的第一方向上从参考位置的偏离 量时，控制部件选择第一控制方法。