[发明专利]三坐标测量机

权利要求书

1.一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定 的范围内移动，具有与被测量物相接触的测量触头；移动机构， 其保持并且移动上述测头；以及控制装置，其控制上述移动机 构，该三坐标测量机在将上述测头推压到上述被测量物的状态 下通过使上述测量触头沿着上述被测量物的表面移动来测量上 述被测量物，该三坐标测量机的特征在于，

上述控制装置具备：

移动量获取部，其获取上述移动机构的移动量以及上述测 头的移动量；

校正参数算出部，其算出用于对由上述移动量获取部所获 取的上述测头的移动量进行校正的校正参数；

校正部，其根据上述校正参数对由上述移动量获取部所获 取的上述测头的移动量进行校正；以及

移动量合成部，其通过对上述移动机构的移动量和由上述 校正部校正后的上述测头的移动量进行合成来算出上述测量触 头的位置，

其中，上述校正参数算出部根据上述测头的推压量以及测 量方向来算出上述校正参数，

上述校正参数算出部根据用于通过上述移动机构移动上述 测头的位置指令值来检测上述测量方向，

上述测量方向是指分割上述测头的移动路径并以圆弧来近 似分割所述测头的移动路径的情况下的旋转方向。

2.根据权利要求1所述的三坐标测量机，其特征在于，

上述校正参数算出部算出三个上述校正参数，该三个上述 校正参数用于分别在正交坐标系的三个平面内校正上述测头的 移动量，

上述校正部在利用各上述校正参数分别校正各上述平面内 的上述测头的移动量之后，将校正后的上述测头的移动量按每 个轴方向的成分进行合成，由此校正上述测头的移动量。

3.根据权利要求2所述的三坐标测量机，其特征在于，

各上述校正参数被设为以与上述测头的移动量有关的多项 式来近似校正后的上述测头的移动量时的系数。

4.根据权利要求2所述的三坐标测量机，其特征在于，

各上述校正参数被设为以与上述测头的移动量有关的圆的 式子来近似校正后的上述测头的移动量时的系数。

5.根据权利要求2所述的三坐标测量机，其特征在于，

一个或者两个上述校正参数被设为以与上述测头的移动量 有关的多项式来近似校正后的上述测头的移动量时的系数，其 它的上述校正参数被设为以与上述测头的移动量有关的圆的式 子来近似校正后的上述测头的移动量时的系数。