[发明专利]探针卡

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针卡，特别是一种在固定探针的电路板上具有调整水平机构的探针卡。

背景技术

当晶片上的集成电路元件完成制作后，在进行后续封装流程前，需经过晶片测试流程，以淘汰不良的集成电路元件，使封装的良率提高。一般而言，晶片测试的方法是利用多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(Pad)，藉此测量集成电路元件的电性特性，以判别集成电路的良莠。

在进行晶片测试时，各探针需施以一定的接触压力，使其尖端穿刺接点表面上的氧化物，在碰触接点金属表面后，才可完成电性特性测试所需的连接。然而，多根探针同时进行测试时，可能因其与待测集成电路元件间的倾斜，而导致部分探针无法和其相对应的接点进行良好的接触，而影响到测试的精确度。

传统上，探针的倾斜调整是通过承载探针的探针座上的调整机构。然则，这些常见的调整机构通常过于复杂，而且使用上不甚方便。再者，这些调整机构固设于测试机台中，在长期的重复使用下易产生磨耗，而将影响其调整的精准度。

鉴于常见的调整机构的缺陷，因此有必要对其进行改良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针卡，其调整机构简单，且使用方便。

本发明一实施范例公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋调整机构。电路板具有相对的一第一表面与一第二表面。多根探针固定于该电路板的该第一表面。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。

本发明一实施范例另公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋调整机构。电路板具一表面。多根探针固定于该电路板的该表面。至少一螺旋调整机构包含一座体、一内斜楔、一外斜楔及一调整螺丝。座体包含一开口和一容置空间，座体设置于该电路板的该表面上，其中该开口形成于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容置空间。内斜楔收容于该容置空间。内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口。内斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动。外斜楔具一第二斜面与一端面。外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面与该端面位于该外斜楔的相反两侧。调整螺丝在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且与该内斜楔相连接。

本发明的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。

附图说明

图1显示本发明的一实施范例的探针卡与支撑件的立体示意图；

图2与图3显示图1内容的分解示意图；

图4显示图1的探针卡与支撑件的俯视示意图；

图5显示图4中沿A-A剖面线的剖视图；

图6显示图5中圆圈区域B的局部放大图；

图7显示本发明的另一实施范例的探针卡与螺旋调整机构的立体示意图；

图8显示图7的探针卡与螺旋调整机构的仰视图；

图9显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的立体图；

图10显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的内斜楔的立体示意图；

图11显示本发明的一实施范例的内斜楔与外斜楔的组合示意图；

图12显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的侧视图；

图13显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的主视图；及

图14显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的固定方式的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1a、1b        探针卡

2             支撑件

11a、11b      螺旋调整机构

12            电路板

14            支撑物

16            探针

18            下表面

19            上表面

21            端壁

22            开孔

23            内表面

24            支撑表面

26            固定件

27            螺丝

28            凹槽

111           螺旋装置