[发明专利]抽气装置有效
| 申请号： | 201010002892.0 | 申请日： | 2010-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101769247A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 吴仲尧;陈振维;王春盛;杨胜淼;廖仁助 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/06 | 分类号： | F04B37/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种抽气装置，包括：
一泵，具有一槽体，该槽体具有一第一进气口、一第二进气口以及一排 气口；以及
一导管，具有一第一末段、一第二末段以及连接于该第一末段与该第二 末段的一热交换段，其中该热交换段接触该槽体的一外壁，利用该槽体的热 能来提升该导管内的气体的温度，使该导管内的气体的温度与该槽体的温度 较为一致，且该第二末段连接至该第二进气口。
2.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该第一进气口设于该 槽体的一顶部，该排气口设于该槽体的一底部，而该第二进气口设于该第一 进气口与该排气口之间。
3.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该热交换段缠绕于该 槽体的该外壁。
4.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该热交换段呈连续弯 折状。
5.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该导管为金属软管。
6.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该导管的材质为不锈 钢或铜。
7.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该导管的导热系数大 于16.3W/mK。
8.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该导管的材质为抗腐 蚀的材质。
9.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，更包括一隔热层，包 覆该槽体及该导管，其中该隔热层的导热系数小于该导管的导热系数。
10.根据权利要求9所述的抽气装置，其特征在于，该隔热层的材质为 保温棉或金属。
11.根据权利要求9所述的抽气装置，其特征在于，更包括至少一固定 件，用于将该隔热层固定于该槽体。
12.根据权利要求11所述的抽气装置，其特征在于，该固定件为环绕该 隔热层的束条。
13.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，更包括一气体供应 装置，而该第一末段连接至该气体供应装置。
14.根据权利要求13所述的抽气装置，其特征在于，该气体供应装置适 于供应一氮气。
15.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，该泵为干式泵。
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